판매용 중고 SEMITOOL SATCB 1280 HF VAPOR #293634212
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SEMITOOL SATCB 1280 HF VAPOR Box Washer는 중요한 반도체 및 태양 전지 청소 응용 프로그램에 사용되는 고급 웨이퍼 청소 장비입니다. 이 고성능 시스템은 소형 배치 (12 인치) 청소용으로 특별히 설계되었으며, 광범위한 액체 및 증기 위상 청소 화학 물질을 사용하여 우수한 청소 결과를 얻을 수 있습니다. SATCB 1280에는 12 "x12" x24 "데이터 제어 핫 저항 히터가 장착되어 있으며 스테인리스 스틸 챔버로 둘러싸여 있습니다. 이 특정 한 "와셔 '" 모델' 은 단일 "웨이퍼 ', 하나 이상 의 배치 혹은 여러 개 의" 웨이퍼' 를 포함 하는 습식 과 건조 한 화학 과정 에 사용 된다. 청소 장치 (cleaning unit) 는 물 재킷 스프레이 바 (water-jacketed spray bar) 를 사용하여 높은 압력으로 세척 화학을 웨이퍼에 전달합니다. 이 프로세스는 균등하게 배포되며, 특정 클리닝 (cleaning) 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 세미 툴 SATCB 1280 (SEMITOOL SATCB 1280) 은 또한 린스주기 동안 웨이퍼 표면을 동요시켜 청소 결과를 더욱 향상시키는 로터리 브러시를 특징으로합니다. 그런 다음 가열 된 웨이퍼는 따뜻한 공기 송풍기를 사용하여 건조됩니다. 가열 된 공기 의 온도 와 흐름 속도 를 조정 할 수 있어서, 그 과정 을 특정 한 청소 요구 조건 에 맞게 사용자 정의 (customize) 할 수 있다. 통합 데이터 제어 시스템 (Integrated Data Control Machine) 은 사용자가 시간, 온도, 액체 전달 (Liquid Delivery) 과 같은 클리닝 사이클 세부 사항을 포괄적으로 표시하여 각 사이클이 보다 일관되고 정확한지 확인합니다. 또한, 이 도구에는 장애 조건이나 주기 범위를 벗어난 매개변수를 나타내는 일련의 안전 경보 (safety alarm) 및 종료 (shut-down) 기능이 포함되어 있습니다. 반자동 (semi-automatic) 로드 모듈은 온도를 조절하여 전체 프로세스와 일치하는 온도를 유지합니다. 전체적으로 SATCB 1280 HF VAPOR Box Washer는 뛰어난 청소 성능을 제공하며 지속적으로 우수한 결과를 제공합니다. 통합된 데이터 제어 자산 (data control asset) 과 안전 경보 (safety alarm) 를 통해 운영자에게 클리닝 사이클의 미묘한 변경 사항을 경고할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 완벽하게 조정할 수 있습니다. 또한이 모델은 다양한 액체, 증기, 건조 화학 공정 (dry chemical process) 으로 작동하도록 설계되어 반도체 및 태양 전지 청소 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
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