판매용 중고 OHASHI CFS-1400 #9247073
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OHASHI CFS-1400 (OHASHI CFS-1400) 은 최대 반복 성과 효율성을 갖춘 다양한 결합 프로세스를 처리하도록 설계된 자동 웨이퍼 본더입니다. 최대한의 정밀도를 위해 고급 활성 정렬 및 압력이없는 결합 기술을 사용합니다. CFS-1400 은 4 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 직경을 수용할 수 있으며, 스택 또는 인라인 구성으로 웨이퍼를 결합할 수 있습니다. OHASHI CFS-1400에는 정렬 비디오 카메라와 CAD 정렬 테이블이 통합 된 비전 장비가 장착되어 있습니다. 이 비전 시스템은 결합을 위해 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한 CFS-1400 은 다중 계층 결합 애플리케이션을 위해 설계된 자동 레이어 변경 장치 (Automatic Layer Change Unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 원하는 결합 프로세스에 대해 웨이퍼 레이어가 올바르게 배치되도록 합니다. 효율성을 극대화하기 위해 OHASHI CFS-1400에는 각각 자체 제어 모듈에 의해 제어되는 2 개의 로봇 암이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 장치가 스택 또는 인라인 (in-line) 구성 모두에서 웨이퍼를 결합할 수 있습니다. 로봇 암은 고속 본드 포지셔닝 및 정확한 웨이퍼 (wafer) 등록을 가능하게하는 강력한 모터에 의해 구동됩니다. 또한 CFS-1400 은 최적의 환경에서 결합 프로세스를 완료할 수 있도록 하는 결합 환경 제어 툴 (bonding environment control tool) 을 갖추고 있습니다. 이 자산은 파편과 오염이 없는 환경에서 웨이퍼 (wafer) 가 결합되어 최대 결합 신뢰성 (bonding 안정성) 이 보장됩니다. 안전은 OHASHI CFS-1400에서도 우선 순위입니다. 이 모델은 운영자 영역의 안전 커버, 인터록 도어 (Interlock Door) 및 비상 정지 스위치 (Emergent Stop Switch) 를 포함한 포괄적인 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 작동기가 시스템을 작동하는 동안 손상되지 않도록 보호됩니다. CFS-1400 은 고급 자동 웨이퍼 (automated wafer) 본더로서, 최대 정밀도 및 효율성을 갖춘 광범위한 결합 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 활성 정렬 (Active Alignment) 및 CAD 정렬 테이블의 고급 비전 장비 (Advanced Vision Equipment) 와 같은 기능은 정확하고 정확한 결합을 보장하는 반면, 안전 기능은 운영자 안전을 보장합니다. 모든 결합 애플리케이션에 이상적인 선택인 OHASHI CFS-1400 은 다양한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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