판매용 중고 F&K DELVOTEC 6200 #293760943

F&K DELVOTEC 6200은 상호 연결 응용 프로그램을위한 고급 결합 장비입니다. 전자 빔 증발 (EBE), 스퍼터 증착, 화학 빔 증착, 물리적 증착 (PVD) 및 공융 결합 기술로부터 다양한 프로세스에 사용되는 완전한 기능의 증착 시스템입니다. 이 다중 프로세스 장치는 다음과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 자동화된 레시피 기반 소프트웨어와 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 빠르고 쉽게 작업할 수 있습니다. 필름 두께, 증착률, 난방 및 레시피 설정을 포함한 조정 가능한 프로세스 매개변수. 제어 증착 속도 (Controlled deposition speed) 및 전열기능 (pre-heat function) 필름 품질 및 균일성을 유지하기 위한 증착 속도와 온도의 정확한 제어 가변 플라즈마 에치 옵션 (process settings and software customization) 통합 센서 고객 특정 프로세스/애플리케이션 요구 사항에 맞게 시스템 설계 구성 가능 6200은 강력하고 간단한 프로세스 레시피 (레시피) 를 제공하여 시간 단축과 프로세스 결과의 재현성을 향상시킵니다. 2D 경로 개발 (2D Path development) 도구를 사용하면 배치 프로세스 레시피를 사용자 정의, 개발 및 저장할 수 있습니다. 이 툴은 다양한 소스, 프로세스 가스 (process gas), 챔버 (chamber) 및 배기 인터페이스 옵션을 사용하여 고객의 애플리케이션에 맞게 구성할 수 있습니다. 스테인레스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 와 통합 폐쇄 루프 (Closed Loop) 수냉식 자산이 제공하는 높은 수준의 진공 제어는 프로세스 오류를 크게 줄여 안정적인 필름 품질을 제공합니다. 고출력 평면 마그네트론 스퍼터 (Magnetron Sputter) 는 다양한 재료를 처리 할 수 있으며, 단일 공정에서 복잡한 구조를 코팅할 수 있습니다. EBE 및 스퍼터 소스의 독립 열 컨트롤러 (Independent Heat Controller) 는 증착 균일성과 반복 성을 개선합니다. F&K DELVOTEC 6200에는 와전류, 초음파 및 내부/외부 필름 두께 측정 프로브를 포함한 다양한 통합 프로세스 스캐너도 있습니다. 이러한 자동 센서는 사용자 자동 프로세스 피드백을 제공하여, 오류 진단 및 수정이 용이합니다. 이 모델은 초고속 로딩/언로딩을 통해 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 자동화된 재료 처리 시스템 (Automated Material Handling System) 과 쉽게 통합할 수 있습니다. 고급 자동화 기능, 프로세스 제어 및 피드백 (process control and feedback), 품질 관리 옵션 및 통합 안전 기능으로 인해 6200 개가 시장에서 가장 뛰어난 본더 중 하나입니다. 다양한 애플리케이션에 적합하며 처리량, 균일성, 반복성, 품질이 향상되었습니다. 높은 증착율 (high deposition rate) 과 공정 유연성 (process flexibility) 을 결합하여 우수한 표면 마무리 및 기판 접착으로 높은 증착률을 가능하게합니다.