판매용 중고 EVG / EV GROUP Gemini #9262790

EVG/EV GROUP Gemini는 고급 복합/구조/재료 연결 응용 프로그램에 고급 나노 서페이스 정렬 기술을 사용하는 첨단 결합 장치입니다. 이 기계는 이중 작업 구역으로 작동하며 350nm µm 정확도의 가열 된 XY 테이블을 갖추고 있습니다. 또한 정확하고 반복 가능한 결합 프로세스를 보장하기 위해 우수한 장력 및 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 이 특징입니다. 이 장치에는 최첨단 진공 시스템 (state-of-the-art vacuum system) 이 포함되어 있으며, 최대 200mm 웨이퍼 크기 처리 기능과 함께 생산용 무독성 결함이없는 어셈블리를 제공합니다. 이 장치에는 정확한 밀봉 및 배치를 위해 자동 웨이퍼 레벨 조정, 다이 레벨 조정, 통합 열 밀봉 척 (heat-seal chuck) 이 장착되어 있습니다. EVG 제미니 (EVG Gemini) 는 결합 과정에서 온도와 압력에 대한 정확하고 반복 가능한 제어를 제공하며, 빠른 압력 제어 및 최대 1000 ° C의 정밀 온도 제어를 제공합니다. 또한 다이 (die) 및 웨이퍼 (wafer) 레벨의 정확하고 반복 가능한 조정과 브로드캐스트 웨이퍼 정렬 및 균일 한 웨이퍼 레벨 조정을 제공합니다. EV 그룹 제미니 (EV GROUP Gemini) 는 또한 금속, 도자기 및 플라스틱을 포함한 다양한 접촉 재료에 대한 우수한 접착력을 제공하며, 최대 4 포인트 빠른 접촉 기능을 제공합니다. 통합 프로세스 모니터링 시스템을 사용하면 Contact Process 의 정확한 Image 피드백을 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 통합 현미경 시스템이 장착되어 있는데, 고해상도 CCD 카메라가 구조/화합물 표면의 라이브 이미지 (live image of the structure/compound surface) 를 가져와 접촉 프로세스에 대한 즉각적인 피드백을 가능하게 합니다. Gemini는 Hot Gas Reflow, Inductively Coupled Plasma (ICP), Plasmaless 및 기타 고급 프로세스와 호환되는 다양한 기판을 결합하도록 설계되었습니다. 이 기계는 마이크로 어셈블리 (micro-assembly) 와 구조물에 적합하며 안정적인 재생성을 갖춘 안전한 결합을 제공합니다.