판매용 중고 EVG / EV GROUP Gemini #9229293
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판매
ID: 9229293
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2013
Automated wafer bonding system, 8"
Substrate handling module:
Between alignment stage and load cassette
Loading / Unloading: 4-Axis industrial robot
With external optical prealigner
Wafer handling:
End effector for robot unit
With vacuum from bottom side
Bond chuck handling module:
Between alignment station and bond chamber
Automated operation of up to (4) bond modules
Unclamp station with handshake to linear transfer station
Cassette station:
Present sensor
Empty sensor
Graphical user interface for manual and fully automated operation
Independent sequence
Monitoring
Data storage
Wafer ID reader:
SEMI T1 (Barcode)
SEMI M12, SEMI M13 (Both alphanumeric)
SEMI T7 (Data matrix code)
High resolution alignment stage with DC servomotors in X, Y and Θ
Top and bottom wafer chuck with position measurement system
Fully motorized split field microscope for double side viewing
High resolution digital CCD cameras
Integrated magnification unit: 1x - 3x
Alignment with split field microscope
Objective: 5x
Loading chuck, 4"-6"
Bond module:
Universal bond chamber with top and bottom side heaters
Flag pulling mechanism
Up to 550°C and 3.5 kN
Atmospheric capabilities down to 1 x 10^-3 mbar (7.5 x 10^-4 Torr)
Pressure: 3 bar abs.
Connections for evacuation, purge and vent
Independent temperature controllers for top and bottom side of each chamber
Electronic pressure regulator for controlled contact force
Pneumatic wafer bow pin:
For most accurate alignment of separated wafers
Spring-loaded pin in bond chamber
Rapid cooling for top and bottom side heater:
For symmetric top / Bottom side cooling at identical
Forced water cooling
Silent operation
Programmable cooling rate
Increased piston force: Up to 10 kN (2250 lbf)
Resolution: 3 N steps
Pressure disk, 4"-6"
Universal bond chuck, 4"-6"
For anodic, thermo compresion and eutetic bonding process
Bond chuck with mechanical wafer direct clamping
Bond chuck out of titanium
Vacuum equipment with bypass system:
Pump time: < 2min from 1000 to 1 x 10^-3 mbar
Gas backfill time: < 10sec from high vacuum to 1 bar
Purge connections for process gas
Pump down time: From ambient to 2 mbar abs. pressure < 60s
Vacuum controller: 1 - 1000 mbar
Resolution: 1 mbar
Accuracy +/-0, 5% / +/-3 mbar
With piezo gauge and control valve
Minimum controllable pressure: 1mbar abs
Hardware:
SEMI-E4:
Semi Equipment Communication Standard (SECS-1)
Message transfer: Hardware interface RS232
SEMI E37:
High speed Secs Message Service (HSMS)
Generic services
Hardware interface: Ethernet TCP/IP
Tooling with system:
Bond chucks with graphite: 9 x 6”
Graphite pressure disks: 4 x 6”
Objective:
Bottom and top alignment
With standard 5x objectives with red LED
Second N2 line is installed in each module
Controlled with needle and bypass valves
Includes:
Chiller
(4) Vacuum pumps
(4) Turbo pumps are installed in chambers
Operating system: MS-Windows
2013 vintage.
EVG/EV GROUP Gemini Bonder는 정밀하고 반복 가능한 결합 결과를 가진 생산 준비, 고 처리량, 자동 웨이퍼 결합 도구입니다. 이 도구는 접착식 결합 씬 웨이퍼 (thin wafer) 및 밀리미터 이하의 공차를 위한 웨이퍼 레벨 패키징을위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. EVG Gemini Bonder는 웨이퍼 결합 프로세스에 최대 처리량, 정밀 및 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능에는 온도, 압력 및 시간에 대한 제어가 포함됩니다. 이것은 내구성이 있고 신뢰할 수있는 강력한 채권을 보장합니다. 또한 EV 그룹 제미니 본더 (EV GROUP Gemini Bonder) 는 직관적 인 사용자 인터페이스, 자동화 및 반복 가능한 프로세스를 특징으로하며 조정 가능한 매개변수를 사용하여 최고 수율을 보장합니다. 작은 발자국과 낮은 진공 헤드 (vacuum head) 를 가진 제미니 본더 (Gemini Bonder) 는 소규모 및 대규모 생산 프로세스 모두에 이상적인 솔루션입니다. 시스템에는 최대 8 "직경의 웨이퍼에 대한 자동 로드/언로드 모듈이 포함되어 있습니다. 로드/언로드 모듈에는 결합 유체를 정확하고 반복적으로 전달하기위한 정밀 노즐이 포함되어 있습니다. 또한 4 개의 헤드 결합 스테이션이 있으며, 최대 4 개의 서로 다른 결합 프로세스를 수용 할 수 있습니다. 스테이션은 UV 접착 및 젤 시스템과 완전히 호환됩니다. 또한 프로그래밍 가능한 압력 및 온도 램프와 함께 자동 정렬이 포함됩니다. EVG/EV GROUP 제미니 본더 (Gemini Bonder) 는 또한 총 프로세스 제어 및 실시간 피드백을 제공하며, 반복성을 위해 이전에 실행한 프로세스를 저장하고 로드할 수 있습니다. 온라인 메뉴를 사용하여 모든 프로세스 기능을 선택, 모니터링, 제어합니다. EVG Gemini Bonder 는 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링, 조정 및 조정할 수 있습니다. EV 그룹 제미니 본더 (EV GROUP Gemini Bonder) 는 다양한 패키지 및 기판 재료와 호환되며, 다양한 조정 가능한 매개변수로 구성 가능합니다. 다른 시스템과 쉽게 통합할 수 있으며, 저소음 (Low Noise) 으로, 다양한 클린 룸 환경에 적합합니다. 또한, 이 시스템은 선택 사항인 하드웨어 모듈 (옵션) 과 호환되며, 이를 통해 추가 다운스트림 (downstream) 애플리케이션을 사용할 수 있습니다. 예를 들어 레이저 절단, 리소그래피, 비전 기반 게이팅 등이 있습니다. 이로 인해 Gemini Bonder는 많은 웨이퍼 본딩 응용 프로그램을위한 매력적인 선택입니다.
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