판매용 중고 EVG / EV GROUP 850LT #293724861

제조사
EVG / EV GROUP
모델
850LT
ID: 293724861
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2020
Wafer bonder, 6" Cleaning station Plasma chamber Bond chamber with vacuum Aligner: Flat to flat KAWASAKI NT521 Robot Plasma-activated bonding Vacuum: <0.00075 (torr) (2) Cleaning modules (2) Low temperature plasma activations Temperature range: 20-28°C 2020 vintage.
EVG/EV GROUP 850LT (EVG/EV GROUP 850LT) 는 모든 유형의 기판에 대해 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 고급 모듈식 자동 결합 장비입니다. 경제적이고, 고도로 진보된 자동화된 결합 시스템으로, 높은 정확성과 반복성으로 탁월한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 독점 모터 드라이브 플랫폼과 타원형 피드백 동작 제어 기계를 기반으로합니다. 이 도구는 두 개의 타원형 음성 코일 액추에이터 (Elliptical Voice Coil Actuator) 를 사용하여 x 방향과 y 방향으로 기판을 정확하게 배치하고 지시합니다. EVG 850LT는 또한 초정밀 리니어 모터 (linear motor) 를 사용하여 기질의 결합 표면에 정밀한 힘을 가하여 매우 정확한 결합 직경을 제공합니다. EV GROUP 850LT는 응용 프로그램에 적합한 광범위한 결합 매개 변수를 제공합니다. 자산은 0.1um 정도의 반복 가능한 결합 직경을 제공 할 수 있으며, 여러 기질을 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한, 와이어 본드 풀 테스트 (wire-bond pull-test) 에서 전체 온도 튜닝에 이르기까지 광범위한 본더 매개 변수를 수행 할 수 있습니다. 850LT는 또한 얇은 기질뿐만 아니라 두꺼운 기판을 처리 할 수 있습니다. 고급 멀티 축 로봇 모델 (Advanced Multi-Axis Robotic Model) 은 높은 정확도와 반복 성을 유지하면서 빠른 속도로 얇고 두꺼운 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 이 장비는 또한 기판 위치와 관련된 잘못된 정렬 또는 기타 불규칙성을 감지하고 수정하는 고급 비전 시스템 (Advanced Vision System) 을 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치에는 원격 통신 및 프로세스 제어를 위한 최신 기술 개선이 포함됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 본딩 (bonding) 요구 사항을 충족하도록 시스템 설정을 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 도구는 매우 안정적이고 유지 관리가 용이하며, 최적의 성능을 보장합니다. 전반적으로 EVG/EV GROUP 850LT 자동 결합 자산은 뛰어난 가격으로 뛰어난 성능과 정확성을 제공합니다. 고급 모션 컨트롤 (Motion Control), 고급 로봇 기술 (Advanced Robotic Technology), 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 갖춘 이 모델은 최소한의 유지 보수로 높은 수준의 성능을 발휘할 수 있는 자동 결합 장비를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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