판매용 중고 EVG / EV GROUP 805EZD #9225230

EVG/EV GROUP 805EZD는 마이크로 전자 장치 제조 응용 분야를 위해 특별히 설계된 전자 제어 진공 및 대기 압력 웨이퍼 본더입니다. 이 결합기 (bonder) 는 정확하고 반복 가능한 결과를 위해 고급 제어 알고리즘을 갖춘 안정적이고 사용하기 쉬운 장비입니다. EVG 805EZD (EVG 805EZD) 는 설치 공간이 작은 완전 자동화 시스템으로, 다양한 유형의 실험실 및 생산 시설에 적합합니다. 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 수용하는 12 "(300mm) 웨이퍼 스테이지가 특징입니다. 이 장치의 가열 단계는 접착제 (adhesive) 또는 솔더 페이스트 본드 (solder paste bond) 를 적용하기 위해 최대 5kW의 총 열을 처리 할 수있는 맞춤형 저항 가열 요소로 구동됩니다. 또한, 난방 요소 및 결합 영역은 완전히 사용자 구성이 가능하여 다른 결합 형태와 크기를 용이하게합니다. 이 장치에는 또한 여러 가스 박스 구성이 제공되어 질소, 아르곤 (argon), 헬륨 (helium) 과 같은 다양한 캐리어 가스와 함께 사용할 수 있습니다. EV 그룹 805 EZD (EV GROUP 805 EZD) 는 통합 스테퍼 모터를 통해 가스에 대한 뛰어난 흐름 제어를 제공하여 사용자가 주어진 응용 프로그램에 필요한 흐름 속도를 조정할 수 있습니다. 또한, 이 장치의 온보드 압력 모니터 (On Pressure Monitor) 를 사용하여 주어진 결합 적용에 대한 최적의 온도 및 압력 조건을 보장 할 수 있습니다. 열 압축 결합 응용의 경우, 805 EZD는 최대 150N의 클램핑 포스 (clamping force) 를 사용하며, 보상 력 및 리미터를 사용하여 결합 전체의 기계적 압축을 보장하고 특정 웨이퍼 유형의 요구 사항을 충족시킵니다. 이 장치의 내장 PLC (Programmable Logic Controller) 는 온도 또는 강제 정착뿐만 아니라 자동 온도 및 강제 램프 (Ramping) 를 가능하게하며 뛰어난 반복성과 재생성을 제공합니다. EVG/EV GROUP 805 EZD의 안전한 작동을 보장하기 위해 기계에는 연동 덮개 및 도어 안전 도구가 장착되어 있습니다. 이 기능에는 안전 제한 (Safety Limit) 스위치 및 광학적으로 모니터링되는 배선 루프 (Optically Monitored Wiring Loop) 를 사용하여 연결 영역에 대한 액세스를 방지하고 작동 중 자산을 보호합니다. 전반적으로 EV GROUP 805EZD는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 자동 결합으로, 마이크로 전자 장치 제조에 이상적입니다. 다양한 기능을 제공하므로, 모든 유형의 채권 (bond) 애플리케이션에 최대 수준의 제어 및 유연성을 제공합니다.