판매용 중고 EVG / EV GROUP 520 #9022766

EVG/EV GROUP 520 (EVG 520) 은 광범위한 마이크로 스케일 및 나노 스케일 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 웨이퍼 결합 및 리소그래피 도구입니다. 이 제품은 캡슐화된 저기판 온도 환경 (low 기판 temperate environment) 과 고급 열 제어 장비 (thermal control equipment) 를 갖추고 있어 매우 얇은 선폭과 높은 처리량으로 웨이퍼를 결합할 수 있습니다. EV GROUP 520은 또한 정확성을 보장하기 위해 고정밀 동작 제어 시스템 (high precision motion control system) 과 자동 정렬 장치 (automated alignment unit) 를 갖추고 있습니다. 또한, 기계에는 저진공 컨투어 머신 (low-vacuum contour machine) 이 장착되어 매우 작고 복잡한 기능으로 대형 기판을 결합 할 수 있습니다. 이로 인해 520 개는 광자, 광전자 및 센서 장치, 집적 회로 및 복잡한 웨이퍼 스케일 구조의 생산에 적합합니다. EVG/EV GROUP 520의 다이 부착 모듈 (die attach module) 은 고온 반도체 재료를 포함하여 광범위한 기판에서 다이를 결합 할 수 있습니다. 또한 자동 테이프 피더, 진공 척 클램핑, 밀봉형 히터 (heater) 를 갖추고 있어 정확한 다이 배치 및 최적의 온도 제어를 보장합니다. EVG 520에는 다이 후퇴 모서리, 자동 레이어 매핑, 정밀도 정렬 등의 기능을 갖춘 최첨단 소프트웨어 제품군도 포함되어 있습니다. EV GROUP 520의 리소그래피 모듈은 복잡한 패턴을 90nm까지, 5mm 선 너비로 인쇄 할 수 있습니다. 즉, 광자 회로 (photonic circuit) 와 파도 (waveguides) 와 같은 작고 복잡한 회로 요소를 기판에 인쇄하는 기능이 있습니다. 또한, 리소그래피 모듈에는 고급 광학 초점 제어 도구 (Optical Focus Control Tool) 가 있어 인쇄된 패턴에 대해 일관된 초점을 유지할 수 있습니다. 전반적으로, 520은 광전자, 광전자 및 기타 소규모 전자 제품 생산을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 응축 된 환경, 낮은 기판 온도, 정확한 모션 컨트롤 에셋 (motion control asset) 과 같은 기능은 광범위한 나노 스케일 및 마이크로 스케일 응용 프로그램에 적합합니다.