판매용 중고 ASM Hummingbird #9047420
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ASM Hummingbird는 마이크로 일렉트로닉스 산업의 반도체 애플리케이션을 위해 설계된 자동 웨이퍼 본딩 장비입니다. 지능형 컨트롤러, 산업용 서보 기반 시스템, 통합형 본딩 헤드 (bonding head) 로 구성된 완전 자동화 머신입니다. 지능형 컨트롤러 (Intelligent Controller) 는 수많은 통합 센서와 피드백 루프 (feedback loop) 를 갖춘 장치의 주요 부분으로, 기계가 결합 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 또한 이더넷 인터페이스 (Ethernet Interface) 를 통해 원격 제어 및 진단을 용이하게 하여 작업 및 문제 해결 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 브러시리스 (brushless) 서보 모터와 정밀 인코더의 조합을 통해 정확한 모션 제어를 제공하여 반복 가능한 결과를 제공합니다. 통합 결합 헤드 (Integrated Bonding Head) 는 다양한 재료를 사용하여 두 서피스를 함께 연결하는 데 사용되는 특수 도구입니다. 머리 에는 견고 한 "클램핑 암 '이 있는데, 이" 클램프 암' 은 본드 형성 중 에 기질 을 안전 하게 고정 시키고, 또한 정밀 한 온도 조절 을 위하여 조정 할 수 있는 난방 요소 를 가지고 있다. 이 도구는 또한 접촉력 (Contact Force) 과 속도 (Speed) 를 모두 변화시켜 결합 효율을 극대화할 수 있습니다. 벌새 (Hummingbird) 자산은 기판에 대한 다이 (die) 와 기판 쌓기를 포함하여 다양한 웨이퍼 결합 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 이 모델은 photolithography, CMP, electrochemical deposition 및 bumping을 포함한 기존 반도체 재료 및 프로세스와 호환됩니다. 또한 최소한의 교정 요건으로 다양한 환경 조건에서 운영 할 수 있습니다 (영문). ASM Hummingbird는 안정적인 성능 외에도 작고, 가볍고, 사용하기 쉽습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 설치 시간을 최소화하고 실시간 장비 상태 (real-time equipment status) 및 피드백 (feedback) 을 제공하여 나중에 검토할 수 있습니다. 따라서, 성능이나 정밀성을 희생시키지 않고 자동 결합 (automated bonding) 시스템을 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다.
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