판매용 중고 ASM Eagle 60XL #9302482

ASM Eagle 60XL은 정확하고 안정적인 웨이퍼 레벨 결합에 사용되는 FIB (focused ion beam) 결합 도구입니다. 독수리 60XL은 구리, 알루미늄 합금, 다양한 반도체, 광전자, 광전자 장치 등 다양한 금속 결합 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 FIB 도구는 4 가지 주요 구성 요소 인 고 진공 챔버, 가스 분사 시스템, 하전 입자 빔 열 및 debonding/fusing 플랫폼으로 구성됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 공기 및 가스 분자가 없는 환경을 제공하며, 하전 입자 빔 (beam column) 은 집중된 이온 빔 (ion beam) 이 웨이퍼를 표적으로 삼고 결합하도록 허용합니다. "가스 '주입 장치 는" 빔' 의 "에너지 '와 속도 를 조절 하기 위하여 필요 한 비활성" 가스' 를 환경 에 첨가 하고, "디본딩 '/융합" 플랫폼 '은 금속 또는 반도체 물질 을 녹여 결합 시킬 수 있게 한다. ASM Eagle 60XL은 사용자가 최대 1 나노 미터의 정밀도를 가진 다양한 결합 옵션을 제공합니다. 또한 프로세스를 최적화하기 위해 다양한 온도, 압력, 가스 옵션을 제공합니다. 채무/융합 (debonding/fusing) 플랫폼은 공정의 온도, 압력, 지속 시간에 대한 정확한 제어와 함께 균일 한 온도 프로파일을 제공하도록 설계되었습니다. 이글 60XL (Eagle 60XL) 은 결합 금속 외에도 인사이트 프로세스 모니터링, 목표 지향 제어, 자동 열 사이클링, 수율 모니터링 등의 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 내부 (in-situ) 프로세스 모니터링을 통해 채권 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 대상 (target) 지향 제어를 통해 사용자는 여러 프로세스 매개변수를 미리 설정하고 확인할 수 있습니다. ASM Eagle 60XL은 또한 프로세스 신뢰성을 검증하는 데 사용되는 자동 열 순환 (automated thermal cycling) 기능을 제공합니다. 독수리 60XL (Eagle 60XL) 에는 검증된 처리량 및 성능을 제공하는 자동화된 열 퓨징 (thermal fusing) 이 포함되어 있으며, 자동화된 수율 모니터링 기능으로 인하여 채권이 가장 높은 품질을 얻을 수 있습니다. 전반적으로 ASM Eagle 60XL은 안정적이고 정확한 웨이퍼 레벨 결합이 필요한 사람들에게 완벽한 고급, 고정밀 FIB 결합 도구입니다. 모든 금속 결합 (metal bonding) 과 다양한 추가 기능 (feature and function) 을 제공합니다. 고정밀, 자동화, 프로세스 모니터링, 열 순환 및 항복 모니터링의 조합으로 Eagle 60XL은 안정적인 금속 또는 반도체 결합에 이상적인 선택이되었습니다.