판매용 중고 ASM Eagle 60 #9124545

ASM Eagle 60은 반도체 장치 포장 및 기판 상호 연결과 같은 정밀 결합 응용을 위해 설계된 자동 금속 결합 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 기술을 탑재하여 안정적이고 재현 가능한 결합 결과를 제공합니다. 이 장치는 3 가지 주요 구성 요소 (전원 공급 장치, 컨트롤러 및 웨이퍼 스테이지) 로 구성됩니다. 전원 공급 장치는 본더에 DC 또는 펄스 DC 전류를 제공합니다. 컨트롤러는 결합 프로세스의 매개 변수 (예: 전류, 압력, 온도, 처리 시간, 순서) 를 제어하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 웨이퍼를 회전시키고 웨이퍼를 기준으로 본더 헤드를 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 본더 헤드에는 비활성 가스 챔버, 비활성 가스 입력 포트 및 전자 빔 건 (electron beam gun) 이 포함되어 있습니다. 가스 챔버 (gas chamber) 는 결합 전에 웨이퍼 표면을 제거하고, 결합 작업에 사용되는 전자 빔 건 (electron beam gun) 에 의해 생성 된 열량을 제어하는 데 사용된다. 비활성 가스 입구 포트는 플루오린 (fluorine) 및 질소 (nitrogen) 와 같은 흡수 가스 공급을 제공하는데, 이는 결합 중 산화를 방지하는 데 필수적입니다. 이글 60 (Eagle 60) 은 고정밀 추적기를 장착하여 결합 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 선형 피드백 제어 알고리즘을 사용하여 전자 빔 건 (electron beam gun) 의 위치와 웨이퍼 플랫폼 (wafer platform) 위치를 제어합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 올바르게 정렬되고" 바인딩' 프로세스는 오류 또는 중단 없이 진행됩니다. ASM Eagle 60은 안정적이고, 정확하며, 사용하기 쉬운 금속 결합 자산입니다. 특화된 기능으로 인해 광범위한 반도체 장치 패키징 및 기판 상호 연결 (Interconnection Application) 에 이상적인 선택이 가능합니다.