판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190768

텔/도쿄 전자 알파 8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S) 는 고온 공정에서 향상된 제어 및 정밀도를 제공하도록 설계된 고급 확산 로입니다. 첨단 전원 공급 장치 (Advanced Power Supply) 와 컨트롤러 (Controller) 를 갖춘 내구성이 뛰어난 설계 및 구성으로, 여러 기판 크기와 모양으로 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 우수한 온도 균일성을 제공하여 산화물 증착 (oxide deposition) 과 같은 반도체 제조 공정 또는 MEMS/NEMS를 포함한 장치 프로토 타입에 사용됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S의 주요 특징은 듀얼 핫 존 (Dual Hot Zone) 장비로, 최대 성능과 온도 균일성을 위해 독립적으로 조정 가능한 2 개의 가열 요소를 제공합니다. 각 가열 영역 (heating zone) 의 온도는 정확하게 제어 및 모니터링되어 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. "온대 '는 불활성 대기 속 에 밀폐 되어 있으며, 오염 과 산화 를 방지 하는 용광로 실 내 의 안정적 인 열 환경 을 제공 한다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S) 는 프로그래밍 가능한 ER (End-of-Run) 종료 기능을 제공하여 원하는 결과를 얻을 때 시스템이 프로세스를 중지합니다. 또한 고급 공압 처리 장치 (Advanced Pneumatic Handling Unit) 가 있으며, 처리 중 기판을 안전하게 보관하여 빠르고 신뢰할 수 있습니다. 용광로 뚜껑을 제거 (Remove) 하여 기판에 쉽게 접근 할 수 있으며, 안전성 에지 (Safety Edge) 보호 기능을 통해 뜨거운 표면과의 우발적 접촉을 피할 수 있습니다. 또한 ALPHA-8 S (ALPHA-8 S) 에는 강력한 제어 머신이 장착되어 있어 전체 프로세스에 대해 단일 지점 컴퓨터 제어가 가능합니다. 기본 제공되는 Japan Modular Auto Programming (일본 모듈러 자동 프로그래밍) 소프트웨어를 사용하면 고급 처리 옵션과 설정을 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 자동 웨이퍼 전송 스테이션 (Wafer Transfer Station) 도 포함되어 있어 처리량 및 반복성을 향상시키는 웨이퍼 처리 및 패치 기능을 제공합니다. 그것 은 완전 한 "웨이퍼 '와 조그마 한 조각 에 적합 하여, 기판 을 효율적 이고 신뢰 할 수 있게 전달 한다. 또한, ALPHA-8S는 가스 분사 시스템, 가스 헤더, 펌핑 시스템, 프로세스 모니터 등 다양한 고급 액세서리와 함께 사용할 수 있습니다. 이러한 액세서리를 사용하면 포괄적인 프로세스 제어가 가능하고 확산 프로세스 (diffusion process) 를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 요약하면, TEL Alpha 8S는 탁월한 프로세스 제어 및 성능을 제공하도록 특별히 설계된 고급 확산 로입니다. 다양한 기능과 액세서리 (액세서리) 를 통해 효율적이고 안정적인 운영을 보장합니다.