판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #190251

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
판매
ID: 190251
웨이퍼 크기: 5"
TEOS CVD systems, 5", warehoused.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 반도체 제조 공정을 돕기 위해 설계된 혁신적인 장비입니다. 최대 405mm 크기의 기판을 위해 설계된 20kW 플라즈마 시스템이며, 다양한 고밀도 플라즈마 공정을 제공할 수 있습니다. 통합 제어 (Integrated Control) 및 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 높은 수준의 자동화를 통해 보다 단순하고 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 4 가지 주요 구성 요소 (플라즈마 챔버, 방전 챔버, 전자 제어 및 전원 공급 장치) 로 구성됩니다. 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 는 열 전달을 최소화하기 위해 바닥 절연 층이있는 고급 알루미늄으로 만들어집니다. 그 모양은 균일 한 플라즈마 밀도 및 분배를 위해 설계되었으며, 공정의 정확성과 반복 성을 증가시킵니다. 방전실 (Discharge Chamber) 은 운영 복잡성을 줄이고 성장/증착 율의 균일성을 향상시키기 위해 단면 가스 입구로 설계되었습니다. AMAT P-5000 의 고급 전원 변환기 (advanced power converter) 는 코일에 전력과 균일 한 전력을 공급하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하고 기판 온도를 잘 제어합니다. 이 기계는 또한 사용자 친화적 인 연산자 인터페이스와 제어 로직 (control logic) 을 갖춘 고성능 제어 레이어 (control layer) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 운영자는 레시피, 매개변수 및 프로세스를 빠르고 정확하게 프로그래밍할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 반도체 처리에서 뛰어난 성능, 생산성 및 반복 성을 제공합니다. 효율적인 전력 공급 및 균일 한 플라즈마 분배는 일관된 결과를 보장합니다. 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 는 작업을 단순하고 효율적으로 수행하며, 일관된 결과를 통해 비용을 절감하고 품질을 높일 수 있습니다. 응용 재료 P5000은 반도체 제조에 이상적인 솔루션입니다.
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