판매용 중고 SANKYO WH80 #293608546

SANKYO WH80 습식 스테이션은 반도체 웨이퍼를 습식 처리하기위한 올인원 머신입니다. 포토리스 코팅 (photoresist coating), 개발 (development), 도량형 (metrology), 후처리 (post-processing) 와 같은 주요 프로세스에 가장 정확하고 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface), 다양한 맞춤형 자동화 옵션, 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 를 갖추고 있어 고급 반도체 생산 라인에 적합합니다. 기계에는 컨트롤러와 지능형 로봇 (Intelligent Robot) 이 장착되어 있어 기판을 스테이션에서 스테이션으로 이동합니다. 이 기계는 다수의 교환 가능한 암 (arm) 과 노즐 (nozzle) 어셈블리를 갖춘 메인프레임을 통해 기판 처리의 유연성을 제공합니다. 메인 프레임에는 웨이퍼 클리닝 스테이션 (Wafer Cleaning Station), 라우팅 스테이션 (Routing Station) 및 웨이퍼 제어 및 라우팅 스테이션 (Gate Station) 도 포함됩니다. 포토리스 스트 코팅 스테이션 (photoresist coating station) 에서 웨이퍼는 포토리스 스트와 스핀 건조로 자동으로 코팅됩니다. 개발국은 얇고 단단한 저항, 엣지 비드 저항 (edge bead resist), 네거티브 저항 (negative resist) 등 다양한 저항 프로파일을 개발할 수 있습니다. 이 기계 는 또한 "웨이퍼 '를 청소 하고 건조 시킬 수 있을 뿐 아니라 습식 화학소," 슬러지' 여과소, 그리고 "어닐링 '역 을 제공 할 수 있다. WH80 습윤국은 또한 웨이퍼 크기, 저항성, 에치 깊이, 표면 거칠기 (surface roughness) 와 같은 다양한 웨이퍼 생산 매개변수를 측정하는 데 사용될 수있는 포괄적 인 도량형 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 오버레이 성능, 프로세스 반복성과 같은 상세한 분석 데이터를 제공합니다. 시스템이 제어 소프트웨어 (Control Software) 에 연결되어 있어 사용자가 원격으로 해당 기능을 제어할 수 있습니다. 또한, 기본 제공되는 최적화 알고리즘 덕분에 소프트웨어를 사용하여 운영 프로세스를 최적화할 수 있습니다 (영문). SANKYO WH80 습식 스테이션은 반도체 제조업체를위한 귀중한 도구이며, 습식 프로세싱을위한 올인원 솔루션을 제공합니다. 안정적이고 비용 효율적인 툴로서, 최상의 성능과 정확성을 제공합니다. 광범위한 자동 옵션, 종합적인 도량형 기능, 사용자 친화적 설계를 갖춘 WH80 습식 스테이션 (wet station) 은 효율적인 운영 실행을 위한 탁월한 선택입니다.