판매용 중고 WYKO / VEECO PZ-06-SG-FF #193297

WYKO/VEECO PZ-06-SG-FF는 마이크로 전자 부품 제조에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 그래버 (wafer grabber) 와 가상 도량형 챔버 (virtual metrology chamber) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 그래버는 최대 6 개의 표준 150mm 웨이퍼 직경을 보유하며 부드럽게 클램프합니다. 그래버 (grabber) 를 통해 엔지니어는 도량형 챔버로 웨이퍼를 정확하게 이동할 수 있으며, 각 웨이퍼 유형에 대한 사용자 정의 그립 설정을 허용하는 조정 가능한 블레이드가 있습니다. 가상 도량형 챔버 (Virtual Metrology Chamber) 는 웨이퍼 (Wafer) 부품의 성능을 측정하는 데 사용되는 모든 광학 및 전기 감지 및 진단 기기를 포함하므로 장치의 핵심 구성 요소입니다. 챔버 내부에서 CCD 카메라와 듀얼 픽셀 추적 장치 (Dual Pixel Tracking Machine) 는 고급 동작 제어 기능이 모든 것을 정렬하고 검사하는 동안 웨이퍼를 배치하고 정렬하는 데 사용됩니다. 이 도구는 또한 각 웨이퍼에 대한 실시간 테스트 판독값을 생성하는 온라인 모니터링 (monitoring) 자산을 제공합니다. 이 정보는 저장되며, 나중에 검토할 수 있도록 액세스할 수 있으며, 운영 작업의 반복성과 정확성을 보장합니다. 도량형 챔버 내부에서, 고급 레이저 측정 도구는 ± 0.2 미크론의 정확도로 치수와 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 또한 레이저 도구는 피치, 오버에치 깊이, 복사 (coplanarity) 및 그루브 너비와 같은 여러 매개변수를 측정할 수 있습니다. 전기 테스트의 경우, 모델은 최대 1 Femtoamp (10 ^ -15 amps) 의 전류를 허용하는 초저전류 센서를 갖추고 있습니다. 장비는 또한 -197 섭씨 온도가 낮은 고급 온도 조절을 가지고 있습니다. 온도 일관성 (consistency of temper) 을 유지하고 측정 정밀도를 유지하는 한편, 유연성이 다양한 온도 요구사항을 수용하도록 허용합니다. 또한 WYKO PZ-06-SG-FF는 전기 충격 방지 (Electric Shock Prevention), 자동 안전 차단 스위치 (Automated Safety Cutoff Switch) 및 모니터링 기능과 같은 다양한 안전 기능을 통합하여 기술자에게 잠재적 인 문제 또는 안전 위험 요소를 경고합니다. 전반적으로, VEECO PZ-06-SG-FF는 마이크로 일렉트로닉 구성 요소를 테스트 및 측정 할 때 비교할 수없는 정확도, 유연성 및 안전 측정을 제공하는 고급 시스템입니다. 정교한 기능 및 자동화 기능을 통해 최고의 품질 요구 사항을 정확하게 생산할 수 있습니다.