판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9010467
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ID: 9010467
Surface profiler
60x420x zoom option installed
Pentium III computer: 80 gig hard drive, 512 memory with windows 98,
Software 3.21, will only operate with w98.
Panasonic colored camera
12.5um Stylus installed, options available
Vertical Range: 100 Angstroms to 655Ka
Scan Length: 50 Microns to 30mm
Sample Stage Diameter: 5"
Vertical Resolution: 10 Angstroms
Dektak 3 is equipped with 26 different analytical functions
Computer, 17" LCD screen, mouse, Dektak hot keyboard
Includes Option Stress Software
2001 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3은 연구 및 개발 실험실에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 장치는 원자력 현미경 (AFM), 접촉력 현미경 (CFM), 광학 및 커패시턴스 프로파일 링 등 다양한 기술을 사용하여 웨이퍼 지형의 고정밀, 비 접촉 측정을 제공합니다. 이 기기는 독특한 회전 스테이지 설계 (rotating stage design) 를 통해 샘플 회전 (sample rotation) 과 3 개의 동작 축 (axes of motion) 을 제공하여 다양한 유용한 테스트 기능을 제공합니다. VEECO DEKTAK 3은 여러 테스트를 순서대로 실행할 수있는 완전 자동화 시스템입니다. 민감한 현미경 스타일 프로브 기술은 10 나노 미터 범위의 표면 변경을 감지 할 수 있습니다. 또한 정밀도 피크 투 밸리 (peak-to-valley) 추적 기능을 통해 10 개의 옹스트롬의 해상도를 가능하게하여 매우 정확한 스캔을 가능하게합니다. 이 장치의 다른 기능으로는 직관적 인 그래픽 인터페이스, 원격 작동 기능, 표준 광학 현미경 (optical microscope) 과의 호환성이 있습니다. SLOAN DEKTAK 3의 핵심에는 표면 기능을 노출시키기 위해 선형, 중심 및 회색 음영 감지 방법을 사용하는 고해상도 광학 탐지 장치가 있습니다. 이 장치에는 0-5V 프로그래밍 가능한 스캐너 드라이브와 커패시턴스 센서를 사용하여 3 차원의 웨이퍼 지형을 추적하는 피드백 루프 (feedback loop) 도 포함되어 있습니다. 이것 은 평면 의 "이미징 '과 복잡 한 모양 을 이용 하여, 몇" 나노미터' 까지 높이 의 차이 를 감지 할 수 있게 해 준다. 또한 컴퓨터의 소프트웨어를 사용자 정의할 수 있어 테스트 시퀀스를 저장하고, 회수하고, 측정값의 범위 (range) 와 유형을 조정하고, 결과를 그래픽으로 표시할 수 있습니다. 또한, DEKTAK 3의 고속 서보 모터는 온도 변동과 같은 극한 조건에서도 꾸준한 스캔을 유지하는 꾸준한 플랫폼을 제공합니다. 마지막으로, 기계는 기능을 확장하기 위해 다양한 액세서리와 호환됩니다. 전반적으로 VEECO/SLOAN DEKTAK 3은 매우 뛰어난 정확성과 정확성을 제공하는 놀라운 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 완전 자동화된 설계로 다양한 연구 응용프로그램에 적합하며, 사용자 지정 (customized) 컨트롤은 유연한 테스트 및 측정을 가능하게 합니다.
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