판매용 중고 VEECO CXR-V #186444

VEECO CXR-V 는 반도체 업계를 위해 설계된 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 소자에 대한 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 표면 평가를 제공하는 완전 자동화 시스템입니다. CXR-V 는 비접촉 감지 (non-contact sensing) 기술을 활용하여 웨이퍼 표면의 지형, 물리적 모양, 표면 거칠기 및 기타 중요한 매개변수를 측정합니다. 이 장치에는 반사계, 미세 방사선 측도, 정전량 측정, 타원법 및 자동 결함 검사와 같은 다양한 응용 프로그램이 포함됩니다. VEECO CXR-V의 반사계 (reflectometer) 는 다양한 재료의 필름 두께, 지형, 스트레스 및 구성을 정확하게 측정하도록 설계되었습니다. 그런 다음, 측정값을 평가하여 장치의 표면 특성을 결정합니다. 또한 비파괴 광학 기법 인 타원계를 사용하여 박막 특성을 정량화합니다. 타원 측정법 (Ellipsometry) 은 재료와 박막의 두께 및 광학 상수를 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계는 접촉이없는 센서 (contact-less sensor) 가있는 높은 정밀도 커패시턴스 (capacitance) 측정 장치를 포함하며, 이는 장치의 시트 저항 및 시트 캐리어 농도와 같은 전기 매개변수를 측정합니다. 이 도구에는 마이크로 아디 오미터 (microradiometer) 도 포함되어 있으며, 이는 서브 미크론 정확도로 샘플의 미크론 스케일 표면 온도를 측정 할 수 있습니다. 에셋은 자동 결함 검사를 지원하며, 이 검사는 고급 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 표면의 결함 입자를 식별합니다. 수작업 프로세스를 제거하고 연산자 오류를 제거하면서 잠재적인 결함을 신속하게 파악하고 평가할 수 있습니다 (영문). 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 사용하면 모델의 성능을 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. CXR-V 는 다양한 Wafer Testing 및 Metrology 애플리케이션에 사용하기 위해 설계된 제품으로, 반도체 제조업체를 위한 비용 효율적인 고성능 솔루션입니다.