판매용 중고 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV #9004644

THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV는 고급 IC (Advanced Integrated Circuit) 기술과 관련된 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 비접촉식 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고유한 APM (Angle-dependent Phase Measurement) 이미징 기술을 활용하여 웨이퍼의 물리적 속성을 실시간으로 측정합니다. 에치 높이 프로파일 (etch height profile), 반사도 프로파일 (reflectivity profile), 유전체 스택 (dielectric stack) 등과 같은 물리적 특성을 정확하게 측정하는 데 사용됩니다. 이러한 물리적 특성 측정을 통해 웨이퍼 IC 구성 프로세스에서 많은 중요한 매개변수를 최적화할 수 있습니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV는 실리콘, 갈륨 비소 (GaAs), 게르마늄 (Ge) 및 탄탈륨 산화물 (Ta2O5) 을 포함하여 최대 16 개의 다른 IC 재료를 측정 할 수 있습니다. 웨이퍼의 여러 각도에서 정확한 측정이 가능하도록 하는 쿼드 (Quad) 검출기 어레이가 특징입니다. 이것은 높은 수준의 정확성과 정확성이 필요한 반도체 프로세스에서 귀중한 기능입니다. 광학 시스템의 파장 범위는 193 ~ 1535 nm이며, 광범위한 재료 및 응용 분야에 걸쳐 측정됩니다. 이 인상적인 광학 장치 외에도 OPTIPROBE 3260 DUV에는 단일 스캔에서 최대 4 개의 웨이퍼 프로브 포인트를 측정 할 수있는 통합 스캔 헤드가 있습니다. 이는 다중 프로세스 단계 (Multiple Process Steps) 또는 웨이퍼 측정 확인 (Verification of Wafer Measurement) 과 관련된 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 검사는 또한 알고리즘적으로 최적의 스캐닝 (scanning) 패턴을 생성하여 매번 정확하고 반복 가능한 측정값을 보장할 수 있습니다. 또한 OPTIPROBE 3260DUV (OPTIPROBE 3260DUV) 는 두께가 다른 웨이퍼를 측정하고, 병렬 처리 속도가 큰 스캐닝 프로세스를 수행하고, 신호에서 노이즈를 필터링하는 등의 다양한 장점을 제공합니다. 다양한 종류의 데이터 분석 및 제어 시스템과 호환되는 고급 (Advanced) 내장 제어 소프트웨어 (BIST) 는 높은 수준의 유연성과 자동화 기능을 제공합니다. 이를 통해 측정 정확도, 반복성 및 신뢰성이 향상됩니다. 요약하자면, THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV는 포괄적이고 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계를 제공합니다. 쿼드 검출기 (Quad detector) 어레이, 넓은 파장 범위, 통합 스캔 헤드를 통해 여러 각도 및 프로세스 단계에서 매우 정확하고 안정적인 측정이 가능합니다. 또한, 통합 제어 소프트웨어는 최적화된 스캐닝 프로세스와 더 높은 수준의 자동화를 보장합니다. 따라서 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV는 고급 IC 구성 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.