판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9225845

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 차세대 도량형 문제에 대한 종합적인 도량형 및 검사 도구 (Metrology and Inspection Tools) 를 제공하며, 높은 처리량과 낮은 오버헤드를 제공합니다. 이 장치에는 SEMI 표준 측정, 오버레이, CD-SEM, 웨이퍼 결함 및 저전압 비파괴 테스트를 포함한 인상적인 스위트가 있습니다. KLA OPTIPROBE 2600B는 검사, 서보 제어 래스터 및 인라인 및 오프라인 처리를 위해 최대 3 개의 동력 현미경을 위해 5 축 전동 무대를 제공합니다. 이 기계는 모듈식 아키텍처로 설계되었으며, 200mm 및 300mm 기판에서 최대 10 äm 해상도를 수용 할 수 있으며, 면적은 900mm x 1200mm입니다. 이 도구는 특허를 받은 2D 및 3D 이미지 알고리즘을 사용하여 선 너비와 간격, 모서리 배치, 오버레이 문제, 지형, 파형 및 윤곽선의 정확한 측정 및 분석을 제공합니다. 또한 깨끗하고 깨끗하지 않은 웨이퍼에 강력한 결함 감지 도구의 데이터를 제공합니다. 독자적인 ODCX-3D 특허를 받은 프로세스 인식 (process-aware) 및 장치 인식 결함 검사 소프트웨어는 주변 장치 결함뿐만 아니라 임베디드 (embedded) 를 찾아내며, 신속한 분석 및 보고서를 제공합니다. 또한 특허를 받은 TENCOR OPTIPROBE 2600B는 PRT 패턴 인식 기술을 사용하여 프로세스에 민감한 결함을 식별하고 보고합니다. Insight complete wafer testing and metrology software 플랫폼은 모든 주요 제조 및 패키징 결함을 검사하기 위해 포괄적인 프로세스 민감성 및 DFM 민감 응용 프로그램을 제공합니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 빠르고 높은 정확도를 측정하도록 설계되었습니다. 고급 이미지 처리 기술을 사용하여 하부 나노 미터 (sub-nanometer) 정확도로 모서리 배치 및 오버레이 문제를 디코딩합니다. 게다가 시간 소모적인 작업과 복잡한 작업 (job) 에 대한 일상적인 테스트를 자동화하고, 데이터를 소프트웨어 시스템으로 자동 전송하여 추가 분석 (analysis) 할 수 있습니다. OPTIPROBE 자산은 통합 프로세스 제어 스테이션, 향상된 웹 서비스, 오프라인 작동 모드 등 3가지 주요 고급 기능을 제공합니다. 또한 보안 웹 서비스를 통해 원격 액세스 및 보안 제어를 제공합니다. 이 모델은 오늘날의 고급 프로세스 및 제조 요구 사항에 맞게 완벽하게 설계되었습니다.