판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE #9013077

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1280SE는 반도체 및 광학 산업에서 사용할 수있는 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 상태입니다. KLA UV-1280SE는 유전체 및 지형 검사, 전기 도량형, 광학 검사, 양성 리소그래피 및 박막 측정과 같은 광범위한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. TENCOR UV 1280 SE는 현장 강화 (field-enhanced) 광학 플랫폼을 통해 반사율이나 편광에 관계없이 다양한 재료를 정확하게 측정 할 수 있습니다. PROMETRIX UV 1280 SE는 고해상도 3D 도량형 데이터와 동시 시야각 이미지를 수집할 수 있습니다. 고에너지 중심의 빔 (beam), 부동 객관적 단계 (floating objective stage) 및 검사 용 샘플의 배치 및 노출을 위해 2 개의 가변 지연 선을 사용합니다. 이를 통해 표면의 구조물에 대한 최소한의 손상으로 샘플 웨이퍼 (sample wafer) 의 다양한 기능을 정확하게 검사 및 감지 할 수 있습니다. 또한 다크 필드 이미징 (dark-field imaging), 마이크로패터닝 (micropatterning), 다중 패턴화 (multiple patterning), 광학 비교기 (optical comparator) 등 다양한 이미징 기능을 제공합니다. 이 모든 "이미징 '" 모드' 를 결합 하여 여러 가지 비늘 에서 "샘플 '의 구조 를 정확 하게 조사 하는 데 사용 할 수 있다. KLA UV 1280 SE 의 이미징 (Imaging) 기능은 빠른 시간에 관심 있는 기능을 파악하고 측정하도록 설계된 고급 소프트웨어와 결합됩니다. KLA UV 1280SE에는 필름 두께 측정을위한 특수 비접촉 기기도 있습니다. 모노크로메이터 (Monochromator) 기반 분광기와 정밀하고 제어된 두께 측정을위한 다중 파장 레이저 (multi-wavelength laser) 가 모두 장착되어 있습니다. 이 장치에는 샘플 웨이퍼 (sample wafer) 에서 각 레이어의 두께를 측정하는 데 사용할 수있는 다양한 입사각 (incident angle) 이 장착되어 있습니다. 이 기기는 포토 esist 이미징의 도움으로 개인 슬릿과 육각형 구조를 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX UV 1280SE는 정확성과 속도로 광범위한 웨이퍼 테스트를 수행하는 원스톱 (one-stop) 기계입니다. 고급 이미징 기능으로 나노 스케일 기능의 정확한 3D 측정이 가능하며, 가변 각도 기기는 필름 두께를 측정하는 데 적합합니다. 또한, 강력한 소프트웨어 기능을 통해 목표 위치를 효율적이고 자동으로 측정할 수 있으므로 반도체 (semiconductor) 와 광학 산업 (optical industries) 을 위한 귀중한 도구입니다.