판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #156087

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
판매
ID: 156087
웨이퍼 크기: 8"
Resistivity measurement system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75는 고급 프로세스 제어 및 장애 분석을위한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 의 상태와 성능에 대한 탁월한 통찰력을 제공하며, 고급 기능은 프로세스 제어 (process control) 및 품질 보장 (quality assurance) 에 상당한 이점을 제공합니다. 클라라 RS75 (KLA RS75) 장치는 웨이퍼 직경과 두께에 대한 광범위한 옵션으로 매우 정확하고 반복 가능한 측정을 가능하게하는 인체 공학적 간트리 (gantry) 설계를 기반으로합니다. 이 기계의 고급 웨이퍼 처리 (Advanced Wafer Handling) 기능은 레이저 스캐너 (Laser Scanner) 및 표면 및 서브 표면 특성을 실시간으로 측정 할 수있는 기타 센서를 포함하여 여러 센서에 대해 정확하고 반복 가능한 정렬을 제공합니다. 조정 가능한 시야가 있는 고속 스캔/측정 (High Speed Scan/Measurement) 모드로, 다양한 결함 관련 정보를 제공합니다. TENCOR RS 75는 또한 중요한 치수 측정, 표면 스캔 및 결함 검토를 포함한 다양한 도량형 기능을 제공합니다. 독점적 인 결함 감지 알고리즘은 타의 추종을 불허하는 결함 해결 및 분석을 제공합니다. RS75 툴에는 최고의 유연성 (Flexibility) 을 제공하며 프로세스 매개변수에 대한 제어 기능을 갖춘 제품군이 있습니다. 여기에는 여러 개의 I/O 채널이 있으며, 자동 프로세스 설정, 데이터 저장 및 분석, 조정 가능한 스캔 매개변수, 데이터 플로팅, 통계 분석 등 다양한 고급 자동화 기능이 있습니다. PROMETRIX RS-75 자산은 기본 거부/수락 결정부터 더 정교한 분류 (예: 결함 측정 범주, 결함 트리 분석) 에 이르기까지 다양한 결함 분류 옵션을 제공합니다. 또한 강력한 패턴 인식 엔진 (pattern-recognition engine) 이 포함되어 있어 최고 해상도에서 웨이퍼를 고급 검사 및 고장 분석할 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX RS 75 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 웨이퍼 조건과 성능에 대한 탁월한 통찰력을 제공합니다. 고급 자동화 기능과 결함 감지 알고리즘은 프로세스 제어 (process control) 및 품질 보장 (quality assurance) 에 적합하며, 광범위한 결함 분류 옵션은 탁월한 유연성과 제어를 제공합니다. KLA RS-75 장비는 가장 까다로운 프로세스 제어 및 장애 분석 애플리케이션을 위한 최첨단 도구입니다.
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