판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #195934

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC
판매
ID: 195934
Resistivity measurement system, with autoloader Flat panel Probe head.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC는 반도체 웨이퍼를 분석 및 측정하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 범프, 라인, 비균일성, 피쳐 크기 등 반도체 수준의 기능을 검사하고 검사할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 광학 기술 (Advanced Optical Technology) 을 기반으로 하며, 웨이퍼의 다양한 차원과 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. KLA RS-55TC는 AWHS (Automated Wafer-handling Unit) 에 연결하여 웨이퍼 표면 및 기능을 검사하고 측정할 수 있습니다. 이 기계에는 Auto-Focus Tilt 카메라와 Dual Telecentric 렌즈가 장착되어 있습니다. 자동 초점 기울기 카메라를 사용하면 도구가 샘플의 고해상도 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이중 렌즈는 조정 가능한 깊이 (depth of field) 를 가지며 서로 다른 초점 평면의 이미지를 캡처 할 수 있습니다. TENCOR RS55/TC는 웨이퍼의 3D 데이터 및 표면 토폴로지 측정을 얻을 수 있습니다. 범프 높이, 크기 및 모양, 선 너비, 피치 및 CD (Critical Dimension) 값을 측정할 수 있습니다. 에셋은 선 너비 (line width) 와 간격 (spacing) 의 변형을 감지하고 균일성에 대한 피쳐를 분석할 수도 있습니다. SEM (Scanning Electron Microscopy), 광학 현미경, SEM-AFM (Scanning Electron Microscopy-Atomic Force Microscopy) 및 white light interferometry를 포함하여 웨이퍼 기능을 측정하는 데 다양한 분석 기술이 사용됩니다. 이 모델은 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 을 포함한 이러한 기술의 조합을 사용하여 웨이퍼 서피스의 결함과 변형을 감지합니다. TENCOR RS-55TC는 실리콘, 구리, 알루미늄, 금 및 기타 유형의 금속과 같은 다양한 유형의 물질을 측정 할 수 있습니다. 그 장비 는 또한 유기물 을 분석 할 수 있는데, 이것 은 광범위 한 "프로그램 '에 적합 하다. 시스템은 높은 처리량과 빠른 검사 속도를 제공합니다. 또한 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 통해 데이터 수집 및 보고 작업을 빠르고 간편하게 수행할 수 있습니다. 요약하면, TENCOR RS-55/TC는 반도체 웨이퍼를 검사하고 측정하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 이 기계는 고급 광학 기술을 활용하고, 맞춤형 분석 기술을 활용하여 결함 및 변형을 감지합니다. KLA RS-55/TC는 기능, 빠른 처리량, 사용하기 쉬운 인터페이스 제품군을 통해 웨이퍼 표면을 검사하고 측정하는 데 적합합니다.
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