판매용 중고 KLA / TENCOR FT-600 #178694

KLA/TENCOR FT-600은 제조 과정에서 반도체 웨이퍼를 검사하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고속 측정, 고급 결함 관리 (Advanced Defect Management), 견고한 프로세스 제어 (Process Control) 를 한 플랫폼에 결합하여 단일 다이 및 웨이퍼 레벨 결함을 검사할 수 있습니다. KLA FT-600은 비파괴 광학 도량형, 전기 파라 메트릭 테스트, 시각적 이미징 등의 일련의 측정을 제공합니다. 이 장치는 또한 1 나노 미터 이상의 비 접촉 지형 측정 정확도, 기능 크기 알고리즘 기반 측정 기능 및 최대 8 개의 레이어의 세부 3D 이미징을 포함하여 다양한 다이 레벨 및 웨이퍼 레벨 측정을 제공합니다. 이 고급 머신을 사용하면 두께, 프로파일, 균일성, 스텝 높이, 피치, 경계 모양 등의 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 툴은 사용자에게 친숙한 인터페이스 (interface) 를 제공하여 운영자가 신속하게 자산을 학습하고 워크플로를 최적화할 수 있도록 합니다. 또한 TENCOR FT-600은 웨이퍼 당 최대 100 개의 활성 결함, 운영자 알림, 1 미크론 미만의 위치 정확도 및 통합 레이저 마커 제어와 같은 고급 결함 관리 기능을 제공합니다. 또한 FT-600 은 강력한 프로세스 제어 및 추적 기능을 제공하며, 각 Wafer 에 대한 프로세스 모니터링 및 피드백 (feedback) 데이터를 실시간으로 표시합니다. KLA/TENCOR FT-600은 구성 가능한 자동화 프로그래밍 언어, 빠른 테스트 및 검증을위한 고급 스위치 매트릭스, 향후 참조를 위해 저장된 데이터 라이브러리 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한이 모델에는 웨이퍼 검사당 4 개의 이산 다이 (discrete die) 가 장착되어 있으며, 사용자는 단일 프로브로 전체 웨이퍼에서 다이 특성을 확인할 수 있습니다. 또한 KLA FT-600 은 서라운드 환경에 대한 포괄적인 제어 기능을 제공하여, 프로세스 제어를 정확하게 수행하고, 매우 민감한 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. TENCOR FT-600 장비는 반도체 프로세싱의 정확한 특성화 및 모니터링을 위해 고급적이고, 정확하고, 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치는 비파괴 광학 도량형, 전기 패라메트릭 테스트, 시각적 이미징, 결함 관리, 프로세스 제어 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 강력한 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 검사하고 프로세스 흐름을 최적화할 수 있습니다.