판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9185507
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 웨이퍼에 대한 정확한 검사 및 비파괴 평가를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 다목적 시스템은 반도체 산업에서 웨이퍼의 중요한 표면 (surface) 기능을 측정하고 모니터링하는 데 사용됩니다. KLA 6200 Surfscan (CLA 6200 Surfscan) 은 웨이퍼 표면을 신속하게 분석 할 수있는 복잡한 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소로 구성된 최첨단 장치입니다. 이 기계는 강력한 광학 확대 도구, 3 축 조잡한 수동 이동 제어, 단일 웨이퍼 (wafer) 에서 여러 사이트를 측정하는 기능을 통합합니다. 이를 통해 사용자는 하위 마이크로소프트 결함을 파악하고 패턴화된 장치 (patterned devices) 와 경이되지 않은 장치 (unpatterned devices) 의 중요한 크기를 측정할 수 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan을 지원하려면 특수 소프트웨어 패키지를 사용할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 단계 높이, 측면 (sidewall) 각도, 피치 측정 등과 같은 피쳐를 자동으로 식별하고 측정할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어 향상을 위한 자동 통계 (Automated Statistics) 와 함께 결함 캡처 (Defect Capture) 및 오류 수정 (Error Correction) 을 포함한 보고도 지원합니다. 자산의 하드웨어도 정교합니다. 이 모델에는 기계의 위치를 제어하기 위한 보안 모터 (secure motor) 및 동작 컨트롤러 (motion controller) 와 광학 현미경, 광원, 이미지 분석 비디오 모듈, 분리형 키보드 등이 포함되어 있습니다. 광학 현미경은 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 광시야각 (wide field of view) 을 제공하여 장비가 매우 작은 결함을 감지하고 정확한 측정을 할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan은 자동 검사 및 도량형을위한 귀중한 도구입니다. 이 기능을 사용하면 표면 피쳐를 정확하게 측정하고 비파괴적인 웨이퍼 (wafer) 테스트를 빠르고 정밀하게 수행할 수 있습니다. 직관적인 소프트웨어, 다용도 하드웨어, 강력한 옵틱을 갖춘 6200 Surfscan은 반도체 제조업체가 프로세스 제어 및 수익률을 높이고자 하는 이상적인 선택입니다.
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