판매용 중고 KLA / TENCOR 5107 #154364

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ID: 154364
CD Overlay System.
KLA/TENCOR 5107 Wafer Testing and Metrology Equipment는 반도체 제조 산업의 검사 및 도량형을위한 완전한 솔루션입니다. 이 시스템은 반도체 생산 라인에 대해 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형을 제공하도록 최적화되었습니다. KLA 5107은 자동 웨이퍼 테스트, 현장 검사, 성능 테스트, 프로필 검사 등 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 또한 사용이 간편한 인터페이스를 통해 빠르고 정확한 데이터 판독 (readout) 및 분석 작업을 수행할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 테스트를 위해 TENCOR 5107 은 광학 (optical), 전기 (electrical), 물리적 (physical) 등의 다양한 메트릭을 측정하는 광범위한 모듈을 갖추고 있습니다. 이 장치는 진동 댐핑 (vibration-damping) 엔클로저로 둘러싸여 처리량 및 데이터 정확도를 극대화합니다. 현장 검사를 위해 5107은 여러 가지 자동 기능을 제공합니다. 파퍼 (wafer) 의 표면에서 다양한 종류의 입자 오염 및 기타 특징을 실시간으로 감지하여 빠르고 정확한 교정 동작을 가능하게 할 수 있습니다. 또한, 기계는 웨이퍼의 전기 (electrical) 및 물리적 (physical) 특성 사이의 불일치를 감지하여 수율 및 결함 관리를 개선할 수 있습니다. KLA/TENCOR 5107의 다른 기능으로는 검사 성능 테스트 및 프로필 스캔이 있습니다. Prober 성능 테스트를 통해 패턴 배치 정확도, 오버레이 정확도, 해상도, 지연 시간, 접착제 위생, 누출 속도 등의 성능 매개 변수를 평가할 수 있습니다. 프로파일 스캐닝은 웨이퍼의 지형을 읽고 2 차원 또는 3 차원 맵을 생성하는 자동 프로세스입니다. 이 프로세스는 웨이퍼 (wafer) 표면의 세부 맵을 제공함으로써 배치 (deposit) 또는 제거 (removal) 프로세스의 균일성을 보장합니다. KLA 5107은 반도체 제조에 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 제공합니다. 자동 Wafer 테스트, 현장 검사, Prober 성능 테스트, 프로필 검색 기능을 통해 시간을 절약하고, 수익률을 높이고, 운영 비용을 절감할 수 있습니다.
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