판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #197077

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KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300
판매
ID: 197077
웨이퍼 크기: 6"
Thickness measurement system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 안정적이고, 다재다능하며, 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 광학 박막 및 오버레이 측정, 표면 응력, 프로파일 및 시트 저항에 대한 최대 정확성과 확장성을 제공합니다. 이 시스템은 반도체 산업의 웨이퍼 (wafer) 와 기판에 대한 자세한 프로세스 평가를 허용합니다. KLA M-Gage 300은 넓은 설치 공간과 높은 처리량을 제공하여 빠른 처리 시간 (turnaround time) 을 통한 높은 정확성, 정밀 도량형을 제공합니다. 이 장치는 혁신적인 자동 고속 자동 초점 머신 (High-Speed Autofocus Machine) 을 갖추고 있으며, 최소 연산자 상호 작용으로 탁월한 장치 정확성과 반복 성을 제공하며, 측정 시간을 크게 줄이고 생산성을 극대화하는 수많은 다른 고급 기능을 제공합니다. 이 도구는 White-light interferometer, spectroscopy, scatterometry, Raman, 원자력 현미경 및 기타 광학 및 비 광학 분석 모듈을 포함한 다양한 표준 도량형 장비를 수용하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 오버레이 및 치수 피드백 제어에 대한 정확한 이중 축 단계와 샘플 사이클링에 대한 정확한 자동 작동, 박막, 표면, 기판, 반도체 장치 및 마이크로 전자 기계 시스템의 정확하고 반복 가능한 측정이 포함됩니다. TENCOR M-Gage 300 (TENCOR M-Gage 300) 은 다양한 크기와 모양으로 웨이퍼 및 기판의 전자, 기계, 광학 특성을 평가하는 능력 때문에 반도체 산업에 중요한 도구입니다. 이 자산은 데이터 수집 모델이 매우 안정적이며, 데이터 전송이 쉽고, 안전하게 이루어집니다. 또한 Reporting 소프트웨어는 프로세스 매개 변수를 쉽게 확인할 수 있는 자세한 결과를 제공합니다. PROMETRIX M-Gage 300 장비에는 통합 터치스크린 페데스탈이 장착되어 있어 반도체 장비와의 직접 통합을 통해 사용자가 여러 서브시스템을 신속하게 연결하고 다크룸 호환 백라이트를 통해 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 CAD 및 정교한 박막 모델과도 호환됩니다. 결국 M-Gage 300 유닛은 다양한 정교한 기능을 갖춘 안정적이고 고급 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 기능을 제공하여 반도체 산업을 위한 진정한 다목적, 강력한 도구입니다. 즉, 최소한의 연산자 개입을 통해 데이터 정확성을 향상시키면서 최고의 정확도, 속도, 정확도를 제공합니다.
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