판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2908 #9000761

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KLA / TENCOR FLX-2908
판매
ID: 9000761
Thin film measurement system Max temperature: 900°C.
KLA/TENCOR FLX-2908 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 제조 공정의 테스트, 정렬, 분석에서 빠르고 정확하며 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 최첨단 도구입니다. 모듈식 (modular) 구성을 통해 사용자는 개별 요구에 맞게 시스템을 사용자 정의하고 효율성을 극대화할 수 있습니다. KLA FLX-2908 은 고급 광, 전기, 기계 기술을 활용하여 각 Wafer 가 엄격한 업계 표준에 부합하는지 확인, 정렬 및 분석합니다. 사용자 친화적 인터페이스는 사용자 정의가 가능하며, 특정 요구 사항에 맞게 빠르고 쉽게 수정할 수 있습니다. 프로세스 단계의 매개변수를 안정적으로 측정하고 모니터링하기 위해 TENCOR FLX 2908은 여러 가지 고유 기술을 사용합니다. 예를 들어, 다양한 고해상도, 고해상도 도량형 및 레이저 검사 시스템이 있습니다. 또한, 서브 나노 미터 정확도로 연결된 샘플 세트에서 표면 결함 및 임계 치수를 감지하는 기능이 있습니다. 테스트 중인 부분을 최적으로 측정, 정렬 및 분석하기 위해 KLA/TENCOR FLX 2908은 여러 고급 프로세스 제어 알고리즘을 사용합니다. 이러한 알고리즘은 시간 소모적인 수동 작업을 최소화하고 스크랩 속도를 크게 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 wafer backside alignment 및 wafer tape lifting with full validation과 같은 광범위한 자동화 기능이 포함되어 있습니다. 프로세스 제어를 수행하기 위한 다양한 요구 사항을 지원하기 위해 KLA FLX 2908에는 여러 연결 옵션도 포함되어 있습니다. 또한 무중단 수율 (Continuous Yield) 작업을 통해 사용자는 안전한 위치에서 전체 특성 프로세스를 모니터링하고 관리할 수 있습니다. TENCOR FLX-2908은 반도체 제조 공정을 효과적으로 테스트, 정렬 및 분석하기 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 고급 (Advanced) 및 모듈식 (Modular) 구성으로, 이 도구는 가장 까다로운 제조 환경에 적합합니다. 이 제품은 광학, 전기, 기계 기술을 통합하여 효율적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 자산을 제공합니다.
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