판매용 중고 KLA / TENCOR Flexus #9007344

KLA/TENCOR Flexus는 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 효율적인 통합 설계와 최신 광 기술, 고급 자동화 프로세스를 결합하여 처리량 및 정확도를 극대화합니다. 이 시스템은 반도체 장치에 대한 종합적인 웨이퍼 레벨 테스트 및 분석을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치의 고급 클로즈드 루프 (closed-loop) 비전 기반 아키텍처를 통해 시간당 최대 24 슬라이드의 테스트 웨이퍼를 동시에 측정하고 분석 할 수 있습니다. 클라플렉서스 (KLA Flexus) 는 정밀 이미징 (Precision Imaging) 및 계산 (Computational) 기능을 활용하여 전체 프로세스에 대한 단일 플랫폼을 연락처에서 무접촉 및 후면으로 생성한다는 점에서 독특합니다. 고속 카메라, 레이저 도량형 도구, 강력한 이미지 처리 알고리즘과 같은 여러 가지 강력한 요소를 통합하여 각 레이어, 스팟 결함, 트랜지스터 게이트 폭 (트랜지스터 게이트 폭), 콘택트 패드 지름 (contact pad diameter), 도핑 수준 (doping levels), 디바이스 성능 지표. 이러한 수준의 정확성과 반복성은 TENCOR Flexus가 기판 독립적 인 1nm 미만의 정확도를 제공 할 수 있음을 의미합니다. 이 기계는 지능형 자체 학습 정밀 로봇 컨트롤러 역할을하는 CLSE (Stage-Integrated Closed Loop Solutions Engine) 를 사용합니다. CLSE는 자동으로 공구 매개변수를 조정하여 자산 성능과 정확도를 최적화합니다. 또한 예측 분석 (Predictive Analysics) 을 통합하여 업스트림 (Upstream) 및 다운스트림 (Downstream) 프로세스 관련 이벤트를 예상하고, 모델이 변화하는 조건에 대응하여 매개변수를 자동으로 및 빠르게 조정할 수 있습니다. 이러한 기능은 장비 설정 시간을 최소화하고 처리량을 최대화하는 데 도움이 됩니다. 또한 Flexus 에는 데이터 로깅, 데이터 분석, 현장 보고 (in site reporting) 기능을 내장하여 복잡한 성능 및 신뢰성 보고서를 빠르고 쉽게 생성할 수 있습니다. 또한, 시스템은 효과적으로 업그레이드할 수 있으며, 이를 통해 도량형 (metrology) 도구를 추가 또는 조정하여 장치 설계 또는 테스트 매개변수의 변경 사항을 수용할 수 있습니다. 결국, KLA/TENCOR Flexus는 강력하고 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치로서, 빠르고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 통합 솔루션을 사용자에게 제공합니다. 클라 플렉서스 (KLA Flexus) 는 시간당 최대 24 개의 슬라이드 테스트 웨이퍼, 예측 분석 기능, 업그레이드 가능한 하드웨어 및 소프트웨어를 동시에 측정 및 분석할 수 있도록 모든 웨이퍼 테스트 및 도량형 시설의 초석 역할을 할 수 있도록 잘 갖추고 있습니다.