판매용 중고 KLA / TENCOR AIT 8010 #80434

KLA/TENCOR AIT 8010은 반도체 산업 개발에 사용되는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 도량형 (Metrology) 기능과 자동 웨이퍼 (Wafer) 테스트를 결합하여 여러 처리 단계를 모니터링하고 제품 수율을 향상시키는 데 이상적인 툴입니다. KLA AIT 8010은 3D Warp/CDH (Width, Height, and Radial) 지형을 측정하기 위해 고해상도 비접촉 레이저 간섭계를 사용하는 KSM (k-Space Metrology) 플랫폼을 기반으로합니다. KSM 기술은이 시스템에 매우 정확하고 반복 가능한 측정 범위를 제공하며, 최대 추적 가능한 정밀도는 0.5nm입니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '표면 정보 를 정확 히 측정 할 수 있으며, 그 결과" 웨이퍼' 표면 정보 를 분석 하여 공정 단계 에 따라 미세 구조 변화 에 대해 귀중 한 통찰력 을 갖게 된다. 또한 뛰어난 자동화 기능을 제공하여 수없이 많은 웨이퍼를 빠르고 쉽게 테스트할 수 있습니다. 이 장치에는 완전 자동 속도 포지셔닝 머신 (Full Automated Speed Positioning Machine) 이 장착되어 있어 빠르고 정확한 작동을 보장하며, 정밀한 샘플 배치를 보장하는 완전 자동 샘플 조작 툴이 제공됩니다. 고급형 이미징은 고속, 고해상도 이미징, 정량적 결함 분석 (quantitative defect analysis) 기능을 제공하는 조절식 밝기 광학 자산에 의해 활성화됩니다. 또한 TENCOR AIT 8010 은 안전한 웹 기반 서버와 동기화하여 데이터를 쉽게 액세스, 공유, 저장하는 강력한 다중 사용자 데이터 관리 모델을 기반으로 합니다. 즉, 세계 각지의 워크스테이션에서 데이터를 동시에 액세스할 수 있어 공동 작업을 원활하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로 AIT 8010은 고급 기술과 자동화된 프로세스를 결합하여 웨이퍼 성능 및 품질을 극대화하는 올인원 (All-in-One) 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 오늘날 반도체 기술의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계된 강력한 솔루션입니다 (영문).