판매용 중고 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #184437

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KLA / TENCOR 7700 Surfscan
판매
ID: 184437
SURFSCAN, patterned wafer inspection systems, 8".
KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 반도체 생산 라인 애플리케이션을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 완전자동 웨이퍼 결함 검사 및 분석 시스템으로, 200mm 및 300mm 웨이퍼에서 높은 수율과 처리량을 제공 할 수 있습니다. KLA 7700 Surfscan은 특허를받은 고급 탐지 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 표면의 결함을 감지합니다. 이 알고리즘을 사용하면 최소 피쳐 크기보다 작더라도 장치 (unit) 에서 결함을 감지할 수 있습니다. 자동 포커싱 머신 (automated focusing machine) 도 통합되어 공구가 높은 정확도로 측정 할 수 있습니다. 에셋은 또한 개선 된 멀티 채널 기능 (multi-channel capability) 을 포함하고 있으며, 이를 통해 동일한 표면의 여러 이미지를 동시에 캡처할 수 있습니다. TENCOR 7700 Surfscan 모델은 다양한 센서, 레이저 및 광학을 사용하여 검사 데이터를 캡처합니다. 고급 센서는 최소한의 소음으로 웨이퍼 (wafer) 표면의 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. 그 "레이저 '는 높은 수준 의 정확도 로 결함 과 기타 특징 의 높이 를 측정 하기 위해 사용 되었다. 장비의 광학 (optic) 을 조정할 수 있으며, 시야와 시야의 각도를 바꾸는 데 사용할 수 있습니다. 7700 Surfscan은 통합 데이터 분석, 품질 보증 및 아카이빙 기능을 갖추고 있습니다. 또한 도량형, 이미징, 지형, 거부 데이터 등 다양한 데이터 유형을 수집할 수 있습니다. 이 데이터는 제조 결함을 최소화하는 데 필요한 분석을 고객에게 제공하기 위해 분석, 아카이빙, 보고됩니다. 이 시스템에는 결함, 실패 모드, 원인에 대한 보고서를 생성할 수 있는 분석도 포함되어 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 7700 Surfscan은 효율성을 최적화하고 반도체 생산 라인의 수율을 극대화하도록 설계된 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 웨이퍼 결함의 감지 및 품질 보증에 적합합니다. KLA 7700 Surfscan 머신은 고급 감지 알고리즘과 고급 센서, 레이저, 광학을 활용하여 생산 시간 (Production Time) 이나 수율 (Yield) 을 저해하지 않고도 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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