판매용 중고 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #197891

KLA/TENCOR 6220 Surfscan은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 화합물 반도체 (compound semiconductor) 와 같은 다양한 웨이퍼 유형에서 여러 유형의 전기 및 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 처리 하드웨어 (wafer handling hardware) 로 구성되며, 와퍼 서피스에서 결함을 감지, 특성 지정, 측정하는 데 사용되는 광학 이미징 장치 (optical imaging unit) 로 구성됩니다. 광학 머신은 웨이퍼의 이미지를 캡처하는 이미지 캡처 도구 (image capture tool) 와 이미지를 분석하는 도량형 에셋 (metrology asset) 으로 구성됩니다. 이미지는 입자, 구덩이, 계단과 같은 인공물 및 결함에 대해 평가됩니다. 피쳐 모서리, 피쳐 크기와 같은 피쳐도 측정할 수 있습니다. 이 모델은 200mm 웨이퍼 (wafer) 에서 100nm까지 기능을 감지 및 측정할 수 있으며, 주로 장치 프로세스 개발 및 프로세스 모니터링에 사용됩니다. 이 장비는 스캐너 (scanner) 및 분석기 (analyzer) 구성 옵션과 결함 인식 (defect recognition) 및 분석 (analysis) 을 위한 여러 개의 자동화된 커널 및 데이터베이스를 갖춘 구성 가능합니다. 또한, 시스템은 사용자에게 다양한 프로세스 요구사항에 대해 자동화된 알고리즘을 사용자 정의할 수 있는 (customize) 기능을 제공합니다. KLA 6220 Surfscan은 높은 정확도와 해상도, 유연한 작동, 효율적인 자동화, 신뢰할 수 있는 측정 등 사용자에게 여러 가지 이점을 제공합니다. 이 장치는 수동 (manual) 및 자동 (automated) 작업 모드에서 모두 작동하며 이중 지수 단계, 이진 파일 등의 표준 형식으로 측정을 제공할 수 있습니다. 또한 자동화된 스태킹 (automated stacking), 서피스 피쳐 식별 (surface feature identification), 자동 결함 분류 (automatic defect classification), 자동 결함 검사 (automatic defect inspection) 와 같은 최소한의 사용자 개입을 통해 효율적으로 실행할 수 있는 여러 가지 자동 기능이 있습니다. 결론적으로, TENCOR 6220 Surfscan은 다양한 웨이퍼 유형에 대한 정확하고 신뢰할 수있는 측정을 제공 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 자산은 구성 능력이 뛰어나고 자동화되어 반도체 (semiconductor) 업계의 프로세스 개발 및 프로세스 모니터링 (process monitoring) 에 매우 적합합니다.