판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #177831

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 표면 매개 변수를 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 와퍼 표면의 원자 및 나노 구조 특성을 정확하게 측정하기 위해 최첨단 고해상도 반사 이미징 (state-of-the-art high-resolution reflective imaging) 및 고급 도량형 센서를 사용합니다. 이 단위를 사용하면 선 모서리 거칠기 (line edge roughness), 원자 단계 (atomic steps) 와 같은 모든 유형의 서피스 피쳐를 쉽고 빠르게 측정할 수 있으며, 깊이 분석할 수 있습니다. KLA 6200 Surfscan 기계는 또한 비 도량형 스캐닝 프로브를 통합하여 piezo 입자 또는 석판 핀홀과 같은 결함 및 오염을 분석 할 수 있습니다. 이 도구는 직경 300mm (wafer) 까지 측정하도록 설계되었으며, UV 구성 환경에서도 작동이 가능하므로 UV 조명이 필요한 고급 어플리케이션에 적합합니다. 또한, TENCOR 6200 Surfscan에는 이중 영역 비전 에셋 (이중 영역 비전 에셋) 이 있으며, 이는 광학 현미경과 비전 모델로 구성되어 있으며, 전통적인 이미징 방법을 통해 보이지 않는 작은 세부 사항을 상세하게 측정 및 분석 할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan에는 스텝 및 반사계 소프트웨어가 장착되어 있어 웨이퍼 표면의 매우 정확한 3 차원 및 지형 이미징이 가능합니다. 이를 통해 원자 수준에서 표면 균일성 (surface uniformity) 과 미세 구조 (microsstructure) 를 자세히 분석 할 수 있으며, 다른 기술을 사용하여 측정 할 수없는 나노 구조를 분석 할 수 있습니다. 또한 6200 Surfscan에는 옵티 칼벤치 (opticalbench), 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 및 검출기로 구성된 옵토 기계식 장비가 함께 제공되며, 모두 항상 구조적 안정성과 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템을 최대한 활용하려면 디지털 카메라 (digital camera) 나 저항 측정 프로브 (resist measurement probe) 와 같은 다른 장치와 쌍을 이룰 수 있습니다. 저항 측정 프로브 (resist measurement probe) 는 원자 수준의 데이터 수집을 가능하게하며, 이를 사용하여 커패시턴스 (capacitance) 나 저항 (resistance) 과 같은 매우 정확한 전기 특성을 생성할 수 있습니다. 이 데이터는 반도체 칩 (chip) 과 소자 (devices) 의 설계를 더욱 구체화하는 데 사용될 수 있다. 전반적으로 KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 강력한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치로서 반도체 웨이퍼의 표면 매개변수 및 전기 특성에 대한 매우 정확하고 상세한 분석을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 정밀 도량형, 설계 최적화, 오염 모니터링 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다.