판매용 중고 FRT MicroProf #293606720

FRT MicroProf는 웨이퍼 특성을 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 초점 (focus) 과 측정 (measuration) 기능이 통합된 높은 수준의 정확성과 반복성을 자랑합니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 테스트를 위해 프로브 스테이션 (Probe Station) 을 사용하며, 웨이퍼에 장치를 마운트하고 이미지화할 수 있으며, 전기적 특성을 측정합니다. 프로브 스테이션 (Probe Station) 은 대부분의 테스트 및 측정 기기에 연결 가능하며, 여러 장치를 동시에 제어하는 기능을 제공합니다. MicroProf에는 웨이퍼 특성을 측정하기위한 단계도 포함되어 있습니다. 이 단계에는 피치 (pitched) 및 요트 (yawed) 동력 기계식 위치 지정 장치가 있으며, 이를 통해 정확한 조정과 측정 가능한 측정의 다재다능성이 가능합니다. 또한 전동식 Z축 드라이브가 있으며, 이는 정확한 측정과 더 정확한 분석을 제공합니다. 도량형의 경우, 기계는 고해상도 검사/도량형 현미경 도구를 사용합니다. 이 자산은 웨이퍼 이미지를 캡처하고, 피쳐를 측정하고, 3D 시각화를 수행할 수 있습니다. 현미경 모델은 고질량 센서로 업그레이드되어 정확하고 반복 가능한 측정을 보장합니다. 장비에는 광학 산란법 (Optical Scatterometry) 도 포함되어 있으며, 이는 웨이퍼의 두께, 굴절률 및 작은 표면 피쳐의 모양을 측정하는 데 사용됩니다. 산란 측정법에는 자동 교정 시스템이 있으며, 이는 정확하고 반복 가능한 측정을 유지하는 데 필수적입니다. 마지막으로, 이 장치에는 데이터 획득 및 모니터링 소프트웨어 패키지도 있습니다. 이렇게 하면 모든 측정을 모니터링하고 기록할 수 있고, 보고서를 생성하고, 데이터를 분석할 수 있습니다. 결론적으로, FRT MicroProf는 웨이퍼 특성을 정확하고 반복적으로 측정 할 수있는 강력한 도구입니다. 고해상도 검사/도량형 마이크로스코피 (microscopy) 머신과 결합한 탁월한 기계적, 광학적 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형을 효율적이고 효율적으로 선택할 수 있습니다.