판매용 중고 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268807

EPIPLUS/ETAMAX Plato는 박막, 레이저 스캔 재료의 중요한 매개 변수를 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 레이저 보조 측정 기술과 고해상도 이미징을 결합하여 웨이퍼 테스트의 최대 정확도를 달성합니다. 이 시스템에는 레이저 스캔과 와이드 필드 이미징의 두 가지 스캔 모드가 있습니다. "레이저 '스캔 모드에서는 세밀하게 튜닝된 레이저 빔이 웨이퍼 (wafer) 표면의 작은 부분에 집중되어 완전하고 정확한 프로파일을 생성합니다. 이 레이저 스캔은 반도체, MEMS 컴포넌트, 소형 피쳐, 초박계 (ultra-thin layer) 와 같은 매우 훌륭한 구조를 검사하는 데 특히 유용합니다. 광대역 이미징 모드는 레이저 스캔보다 정확도가 떨어지지만, 고해상도를 제공하므로 평면 패널, 에칭 (etched) 피쳐, 패턴화된 지형 (patterned topography) 등 더 큰 구조물의 정확한 측정이 가능합니다. 이 모드는 UV 및 적외선 카메라를 사용하여 다른 각도에서 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처합니다. ETAMAX Plato 장치는 풀 웨이퍼, 칩 및 멀티 레이어 기판을 포함한 다양한 재료 유형 및 기판과 함께 사용할 수 있습니다. 배율 범위는 2-100X이며 표면 거칠기, 도펀트, 지형, 스펙트럼 반사율 등 다양한 매개변수에 대한 정확한 측정을 제공합니다. 또한 패턴 인식, 3D 이미징, 고급 데이터 분석 기능 등 고급 소프트웨어를 제공합니다. 소프트웨어는 상세 분석 보고서를 생성하는 데 사용할 수 있으며, 이 보고서를 사용하여 프로세스 산출량 (process revield) 을 향상시킬 수 있습니다. 게다가, 이 도구는 자동화된 모서리 탐지 (edge-detection) 를 갖추고 측정에서 원치 않는 소음과 왜곡을 제거합니다. 또한 EPIPLUS 플라톤 (EPIPLUS Plato) 에는 여러 테스트 웨이퍼 (wafer) 에서 수행되는 테스트 결과를 추적할 수있는 통합 관리 자산도 포함되어 있습니다. 결과적으로, 품질 관리 프로세스는 시간이 지남에 따라 쉽게 모니터링되고 개선 될 수 있습니다. 전반적으로, 플라톤은 다양한 재료 및 기판에 대한 정확하고 정확한 측정을 제공하기 위해 설계된 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 와 다양한 기능을 제공하여 프로세스 수익률 및 품질 제어를 향상시킵니다.