판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #186301

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage 장비는 반도체 산업에 고급 품질 관리 및 정확성을 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치에는 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 기능 인식 (feature recognition) 을 위한 광학 현미경과 기계 성능을 정량화하는 스펙트럼 이미징 기능이 있습니다. 자동화된 단계를 통해 평면 (Planar) 및 비 평면 (Non-Planar) 응용 프로그램을 포함한 다양한 유형의 웨이퍼를 신속하고 파괴적으로 측정할 수 있습니다. 액티브 조명 기술 (Active Lumination Technology) 을 통해 동적 조명 및 그림자가 없는 뷰를 사용할 수 있으므로 피쳐를 정확하게 인식하고 이벤트를 자동으로 감지할 수 있습니다. 이 도구에는 4 인치 웨이퍼에서 최대 5äm의 정확도를 제공하는 통합 마이크로 포커스 측정 에셋이 장착되어 있습니다. 또한 고해상도 Non-Contact Measurement Model을 사용하여 정적, 멀티플렉싱 및 반복 측정을 수행합니다. 이 장비를 사용하면 높은 종횡비 기능과 어셈블리를 정확하게 측정할 수 있습니다. 빠른 정렬 및 스텝 트래버스를 위한 자동 단계 (automated stage for fast alignment and steped traversing), 반복 처리 검증을위한 자동 스캐닝 시스템, 빠른 단위 평가를 위한 동적 데이터 분석 (dynamic data analysis), 특정 응용 프로그램의 사용자 지정 워크플로우 (customized workflow) 등이 있습니다. 울트라게이지 (UltraGage) 머신에는 자동 결함 검사 모듈이 장착되어 있어 웨이퍼 품질에 대한 빠르고 안정적인 데이터를 제공합니다. 이 모듈에는 인공 지능과 머신 러닝 (machine-learning) 기술을 활용하여 결함을 감지, 분류, 보고하는 전문 알고리즘이 포함되어 있습니다. 또한 다양한 어셈블리 유형에 대한 높은 정밀도 인라인 컨투어 매핑이 가능합니다. 이 작업은 실시간으로 원활하게 이루어지며, 제조 전반에 걸쳐 개별 컴포넌트가 수행되는 방법에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 이 모든 기능을 통해 자산은 고정밀도, 저렴한 웨이퍼 테스트 및 도량형을 제공 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 구성 가능하며, 인라인 측정, 통계적 프로세스 제어, 로봇 인터페이스 등 여러 고급 통합 기술을 지원합니다. 이러한 상호 운용성은 ADE 9500 UltraGage 장비를 위한 높은 수준의 유연성과 확장성을 제공하여, 다양한 고급 반도체 어플리케이션을 지원합니다.