판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9097721

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ULTRATECH 1500 MVS
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ID: 9097721
Stepper.
ULTRATECH 1500 MVS Wafer Stepper는 고급 반도체 제작을위한 최첨단 차세대 솔루션입니다. MVS (Multiple Viewing System) 기술로 알려진 특허받은 가변 슬릿 스캐닝 프로세스를 활용하여 1500 MVS는 사용 가능한 모든 웨이퍼 스테퍼의 처리량을 가장 높일 수 있습니다. ULTRATECH 1500 MVS는 MVS 기술을 활용하여 한 번의 노출로 전체 웨이퍼를 이미지화하는 동시에 이미징 프로세스를 간소화합니다. 웨이퍼 노출을 4 개의 개별 슬릿 디자인으로 나누면, 이 프로세스는 광학 오정을 줄이고, 이미지 스티칭 문제를 제거하고, 전체 이미지 왜곡을 크게 줄입니다. MVS는 또한 각도 슬릿 스캐닝 (angular slit scanning) 과 결합 된 기판 캐리어 모션을 사용하며, 이는 모든 웨이퍼 스테퍼에 가장 높은 정확도와 속도를 산출합니다. 또한 1500 MVS 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 단순하고 복잡한 장치 형상을위한 자동 웨이퍼 매핑 시스템 (Wafer Mapping System) 이 장착되어 있으며, 장치 사이트마다 항상 변경되는 정렬 표시 배열이 있습니다. 이 기능을 사용하면 디바이스 정렬에 대한 전체 제어 (Total Control) 를 유지하면서 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. ULTRATECH 1500 MVS는 또한 내장형 (내장) 고정밀 프레임 그래버 (Frame Grabber) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 이미지의 간편한 관찰과 분석을 수행할 수 있습니다. 즉, 필요에 따라 즉각적인 시정 조치를 취하여 이미징 프로세스 (imaging process) 의 불일치를 신속하게 해결할 수 있습니다. 1500 MVS는 매우 사용자 친화적 인 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 웨이퍼 프로세싱의 모든 최신 향상을 진정으로 통합합니다. 혁신적인 설계 기능을 통해 사용 가능한 최고의 처리량을 확보할 수 있으며, 정확성과 정확도는 그대로 유지합니다. 또한 내장된 프레임 (Frame Grabber) 기능을 통해, 사용자가 획득한 이미지를 관찰하고 분석할 수 있습니다. 이를 통해 ULTRATECH 1500 MVS의 신뢰성이 이미 향상되었습니다.
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