판매용 중고 NIKON S205 #293606201
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NIKON S205는 lithography 애플리케이션을 위한 차세대, 비용 효율적인 단계 및 반복 패턴 생성기로, 사용자에게 완벽한 2D 패턴 처리를 위한 시스템 관리를 제공합니다. NIKON S 205는 동급 최고 성능의 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 첨단 광학 설계 (Advanced Optical Design) 를 통해 가장자리에서 가장자리로 왜곡을 극적으로 줄이고 더 다양한 패턴을 구성할 수 있습니다. 더 얇게 지원하는 고도로 통합된 포토마스크 처리 시스템 (photomask processing system) 은 더 높은 수율과 더 나은 처리량을 제공합니다. 고급 정렬 및 도량형 기능으로 오버레이 정확도가 낮아지고, 조정 계층이 줄어들고, 처리가 빨라집니다. S205 는 운영 프로세스 내에서 속도, 처리량, 생산성을 향상시키는 한편, 비용을 절감하고 높은 해상도를 제공하도록 설계되었습니다. 고속 패턴 생성기와 8,000 위치 자동 마스크 체인저와 결합 된 완전 전동식, 4 축 웨이퍼 스테이지로 S 205는 마스크 변경, 정렬 및 노출에 필요한 시간을 줄입니다. 이 고정밀 기계는 최대 2 나노 미터의 정확도로 최대 12.5 미크론 (micron) 의 선형 및 원형 패턴을 처리 할 수 있습니다. NIKON S205는 열 드리프트 양을 최소화하는 독특한 안정화 기능 (stabilization feature) 과 80 위치 및 최대 4 축 회전 이동이 가능한 고밀도 6축 운동학적 로봇 (high-density 6축 kinematic robot) 과 같이 정확성과 반복성을 제공하는 통합 기능 어레이를 갖추고 있습니다. NIKON S 205는 또한 최적화된 암실 공간 효율을위한 통합 암실 (darkroom) 과 노출 단계 및 정렬 단계 간의 빠른 광학 교환을위한 자동 렌즈 교환 시스템 (automatic lens-interchange system) 과 같은 다양한 옵션 구성 요소를 갖추고 있습니다. S205는 MEMS 및 microdevices 뿐만 아니라 LED, EPI 등 다양한 세미콘 및 기타 산업에 적합합니다. TCO (총소유비용) 를 절감하는 동시에, 빠른 속도와 정밀도에 대한 오늘날 가장 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. S 205 는 고급 (Advanced) 기술적인 정교함과 안정성의 결합을 통해 사용자가 최적의 출력과 결과를 얻을 수 있게 해 줍니다.
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