판매용 중고 NIKON NSR SF200 #293636238
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NIKON NSR SF200은 반도체 제조 산업의 마이크로 리소그래피 공정에 사용되는 최첨단 다단계, 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 확장성을 염두에 두고 설계되었으며, 패턴 정렬 (pattern alignment) 과 개발 (development) 모두에 대해 매우 정확한 노출 제어 기능을 제공합니다. 최대 12 인치 (12 인치) 의 다이 크기와 최대 웨이퍼 크기 (200mm) 로 NIKON NSR SF 200은 광범위한 기판 및 애플리케이션을 처리 할 수 있으므로 대용량 생산에 최적의 선택이 가능합니다. NSR SF200 은 정확성과 처리량을 높이기 위한 4 단계 (4 단계) 설계를 적용했으며, 노출 제어 및 정렬 향상을 위해 vision 및 lumination 시스템을 통합했습니다. 이 시스템은 최적의 노출 관리를 위해 2 개의 축 (축) 조정을 사용하며, 정확한 오버레이 정렬 및 전송 패턴 등록을 제공합니다. 다른 기능으로는 웨이퍼 자동 로드, 자동 제로 레벨 정렬 및 패스 스루 자동 초점 등이 있습니다. NSR SF 200은 또한 0.5 초각 해상도를 자랑하며, 모든 크기의 기판에 매우 정확한 패턴 배치를 허용합니다. 이 기능은 최대 0.12 mm 의 이미지 해상도 (image resolution) 에 의해 더욱 향상되어, 사용자가 더 높은 수준의 정확성과 반복성을 얻을 수 있습니다. NIKON NSR SF200은 고급 건조 및 저항 필름 프로세스에 적합합니다. 이 제품은 145 ~ 312nm (145 ~ 312nm) 범위의 노출 에너지 수준을 가진 재료를 처리할 수 있으므로 노출 조명 (Exposure Lighting) 을 자동으로 조정하여 노출 및 저항 재료를 선택할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR SF 200은 액체 침수 (liquid immersion) 및 이중 노출 (double side exposure) 옵션을 제공하여 가장 까다로운 반도체 개발 및 생산 요구 사항을 충족하는 데 이상적인 선택입니다. 안정적인 작동을 보장하기 위해 NSR SF200 은 강력한 소프트웨어 및 하드웨어 구성 요소 (모두 NIKON lithography 플랫폼 제품군에서 작동) 를 갖추고 있습니다. 여기에는 중요한 구성 요소의 추출 및 보호 기능, 최신 마스킹 (Masking) 및 조명 기술, 다양한 사용자 친화적 인터페이스 옵션 등이 포함됩니다. 전반적으로, NSR SF 200은 반도체 제조에서 가장 안정적이고 정확하게 생성 된 집적 회로 (integrated circuit) 와 기판 중 일부를 생산하기 위해 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 니콘 NSR SF200 (NIKON NSR SF200) 은 종합적인 기능 세트 및 하이엔드 구성요소를 통해 애플리케이션별 웨이퍼 스테퍼 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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