판매용 중고 NIKON NSR S306 #9229321

NIKON NSR S306은 NIKON에서 설계 및 제조 한 고정밀 이미징 장비입니다. 이 웨이퍼 스테핑 시스템은 반도체 및 MEMS 업계를 위해 고급 기술, 최첨단 성능, 다양한 기능을 제공합니다. NSR S306은 사이레이션, 접촉 구멍, 에지 이미징 및 레티클을 15 ½ m 작게 이미징 할 수 있습니다. 이 장치는 다용도 (versicle) 생산 환경을 위해 설계된 제품으로, 많은 비용이 소요되는 기계적 설치 시간 없이 여러 작업 간에 신속하게 전환할 수 있습니다. 사용자 친화적인 인터페이스와 포괄적인 소프트웨어 제품군이란 '학습, 운영' 이 용이하여 고품질 이미징이 필요한 애플리케이션에 적합한 '투자' 가 됩니다. 높은 해상도의 결과를 제공하는 것 외에도, NIKON NSR S306은 레이어 간 및 다이 투 다이 정렬을 제공하는 데 능숙합니다. 이 기계는 또한 이미지 인식 (Image Recognition) 기술을 갖추고 있으며, 이를 통해 자동 광학 조정이 가능하고 정확하게 정렬할 수 있습니다. NSR S306 은 또한 블랙라이트 필터 (blacklight filter) 와 자동 셔터 게이트 (auto shutter gate) 의 내장 도구로 인해 노출을 수행하기 위한 안전한 환경입니다. 이것 은 자외선 이나 가시 광선 에 불필요 하게 노출 되는 것 을 방지 해 주며, 이것 은 영상 을 입히는 동안 민감 한 "웨이퍼 '를 손상 시킬 수 있다. 자동 셔터 게이트 (Auto Shutter Gate) 기능은 또한 노출과 개발 프로세스 사이의 격차를 해소합니다. 즉, 레이저 노출이 최소화되어 노출 된 이미지의 품질이 향상됩니다. 이 자산에는 고성능 SIRIUS 필드 제너레이터 (field generator) 가 있으며, 다양한 이미징 작업에 대해 ± 45 ° 로드 핀치 조절 가능한 기울기가 있습니다. 시리우스 필드 제너레이터 (SIRIUS field generator) 는 열 담요 (thermal blanketing) 모델이 통합되어 있어 엄격한 조건에서도 스테퍼의 왜곡을 제거합니다. NIKON NSR S306은 또한 고정밀 정렬을 수행하기 위한 고급 SEIKI 자동 중심 메커니즘을 갖추고 있습니다. 이 장비는 웨이퍼의 위치 정확도를 희생하지 않고 드리프트 프리 (drift-free) 이미지 정렬을 사용합니다. 또한, NIKON 스캔 거울 (NIKON Scanning Mirror) 은 투영 빔을 레티클에 집중하여 스팟 크기가 작아 이미지 해상도가 높습니다. 전반적으로, NSR S306은 단일 레벨/멀티 레이어 웨이퍼의 고품질 이미징에 맞게 설계 및 제조 된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 이미지 인식 기술, 자동 셔터 게이트, SIRIUS 필드 생성기, SEIKI 자동 중심 장치 등 다양한 고성능 기능을 통해 핀포인트 (pin-point) 정확성과 신뢰성을 제공합니다.