판매용 중고 NIKON NSR S202 #9299398

니콘 NSR S202 (NIKON NSR S202) 는 반도체 장치 생산에서 높은 수준의 정확성을 제공하도록 설계된 정밀 석판화 장비입니다. 이미지 충실도 및 기하학적 정확성을 보장하기 위해 우수한 옵틱과 모션 컨트롤을 통합 한 듀얼 필드 웨이퍼 스테퍼 (dual-field wafer stepper) 입니다. 이 시스템에는 고정밀도, 광대역 갈보 스캔 미러 (galvo scan mirror) 가 장착되어 있어 노출 과정에서 이미지 해상도를 유지하면서 동시에 필드 노출이 발생합니다. NSR S202의 오프 축 조명 디자인 (off-axis lumination design) 은 확산 조명 및 편광 광 제어를 결합하여 스테퍼 필드 크기에 걸쳐 최적의 노출 균일성을 달성합니다. 원격지 줌 렌즈 (telecentric zoom lens) 는 확대/축소 오류나 수차없이 더 큰 반도체 장치 피쳐 크기에 걸쳐 평평한 초점면을 유지하는 데 사용됩니다. NIKON NSR S202의 고급 모션 유닛은 5 × 5, 4 × 4 및 3 × 3 필드 크기를 포함하여 다양한 스캐닝 모드를 제공하며, 정밀한 제어를 위해 속도 및 가속도를 정교하게 조정합니다. 정확한 정렬 기계는 정렬 정확성과 반복성을 보장하며, 렌즈-웨이퍼 높이 및 위치 제어는 고정밀 XY 래스터 단계 (high-precision XY raster stage) 에 의해 설정됩니다. NSR S202 에는 반복 가능하고 결함이 없는 처리를 보장하는 다양한 프로세스 제어 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 Stepper 노출 과정에서 직접 패턴 관찰을 제공하는 NIKON 특허를받은 Photo Monitoring Tool이 있으며 NIKON ZyGo Sensor 프로세스 제어 도구 집합에서 자동 결함 감지 및 수정 기능을 제공합니다. 또한 NIKON NSR S202에는 결함 등록 및 검사가 가능한 이중 파장 레이저 마크 감지 에셋이 있습니다. 첨단 파편 관리 모델은 접근하기 쉬운 용지함에 파편을 수집하여 웨이퍼 오염을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다 (영문). 전반적으로 NSR S202 는 고급 듀얼 필드 웨이퍼 스테퍼 (dual-field wafer stepper) 로, 탁월한 옵틱, 모션 제어 및 프로세스 제어 기능을 결합하여 정확하고 결함이 없는 반도체 디바이스의 최고 출력을 보장합니다.