판매용 중고 NIKON NSR-2205I9C #293636235
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NIKON NSR-2205I9C는 높은 정확도, 높은 처리량, 높은 처리량을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 NIKON advanced NSR lithography 기술을 기반으로하며 다양한 lithography 애플리케이션을 제공하도록 설계되었습니다. NIKON NSR 2205 I9C (Lightweight Wafer Stepper) 는 스캔 필드가 큰 경량 웨이퍼 스테퍼로, 사용자가 고속 기판의 넓은 영역을 사진을 찍을 수 있습니다. 대규모 단일 평면 필드 (single-plane field) 와 이중 평면 필드 (dual-plane field) 를 통해 여러 기판을 동시에 노출할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 시간당 최대 50 와퍼의 높은 처리량을 제공하며, 최대 해상도는 회선당 최대 1.2 미크론입니다. NSR-2205I9C 는 높은 정확도 렌즈, 고급 리소그래피 (advanced lithography) 메뉴 및 고급 자동화 장치 (advanced automation unit) 의 병합으로 인해 리소그래픽의 정확도가 높아 프로세스의 시간이 단축됩니다. 이 기계는 리토그래피 (lithography) 메뉴를 재구성하고 사용자 정의하여 단순 패턴에서 복잡한 모양으로 전환할 수 있도록 합니다. NSR 2205 I9C는 사용자 정의가 가능하며 전체 웨이퍼 노출, 분할 노출, 이중 패턴, 다중 패턴 등과 같은 여러 리소그래피 옵션을 제공합니다. 또한 다중 레이어 패턴화 (multi-layer patterning) 를 지원하므로 여러 레이어에 대해 서로 다른 토폴로지를 기록하거나 저장할 수 있습니다. 도구는 기판에 대해 매우 정확한 정렬을 갖습니다. 또한 자산의 혁신적인 버전에는 CCD 카메라 (CCD Camera) 에 연결할 수 있는 추가 소프트웨어 (Additional Software) 가 함께 제공되며, 이들이 패턴화 한 모양을 사진과 수정할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I9C는 또한 3D 모터 모델을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 최소한의 유지 보수를 통해 웨이퍼 제작을 정확하고 신속하게 수행할 수 있습니다. 이 장비에는 고급 장애 감지 및 수정, 데이터 획득 및 로깅, 패턴 형성 도구 등이 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 당 저렴한 생산을 제공합니다. 또한 시스템은 CAD 및 시각화 기능을 쉽게 통합할 수 있도록 VMP (Virtual Machine Protocol) 와 함께 제공됩니다. NIKON NSR 2205 I9C는 높은 정확도, 높은 처리량, 높은 처리량을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 대형 스캔 필드, 고급 리소그래피 옵션, 3D 모터 유닛, VMP 를 통해 경제적인 비용으로 정밀도를 달성할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 당 저렴한 생산과 강력한 소프트웨어를 통해 고급 리소그래피 솔루션을 원하는 사용자에게 적합합니다.
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