판매용 중고 NIKON NSR-2205EX12C #9137681

NIKON NSR-2205EX12C는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 정교한 알고리즘 구동 설계 (algorithm driven design) 를 특징으로하며, 개별 웨이퍼나 기판 패널을 정확하고 반복적으로 노출 할 수 있습니다. 폭넓은 포토리스토그래피 요구를 충족할 수 있는 높은 처리량 및 비용 절감 솔루션을 제공합니다 (영문). NSR-2205EX12C의 핵심은 기존 웨이퍼 스테퍼보다 광범위한 노출 범위를 제공하는 고급 DIGITAL ILLUMINATION TECHNOLOGY (DIT) 디지털 이미징 시스템을 사용하는 차세대 노출 장비입니다. 또한, 이 장치에는 전용 트랙 머신이 내장되어 있으며, 이 트랙 머신은 각 웨이퍼 (wafer) 및 기판 패널 (기판 패널) 의 위치를 추적하여 반복 노출 정확성을 돕고 생산 오류를 크게 줄입니다. 에셋은 노출 후 정렬 과정에서 1.5 미크론의 정확도를 보장 할 수있는 고정밀 CCD 카메라 (CCD Camera) 기반 정렬 모델을 포함합니다. 카메라는 각 웨이퍼 (wafer) 또는 기판 (substrate) 패널의 노출 지점을 캡처하고, 결과를 사용하여 노출 과정에서 발생할 수 있는 잘못된 정렬을 정확하게 보상합니다. 이 장비에는 0.45 미크론의 사전 노출 정렬 정확도를 위해 고정밀 SCHOTT 플레이트 타이너 (SHOTT plate aligner) 가 포함되어 있으므로 각 기판 패널이 노출 전에 정확하게 중앙에 있습니다. NIKON NSR-2205EX12C는 또한 가장자리 전체의 노출을 정확하게 제어 할 수있는 DEC (Digital Edge Compensation) 시스템과 각 기판 패널에 대한 저항성 두께를 정확하게 제어 할 수있는 DR (Digital Resining) 장치 등 다양한 시스템을 제공합니다. 또한, 고도로 고급 VDF (Vertical Developing Method) 를 포함하여보다 일관된 노출 후 베이크 투 베이크 개발 프로세스를 제공합니다. 마지막으로, NSR-2205EX12C (Advanced Optical Lens Machine) 는 다양한 초점, 확대, 수치 조리개 조정 옵션 (최대 NA 0.85) 을 제공하여 가장 작은 기능까지 정확하게 노출 할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR-2205EX12C 는 고급 웨퍼 (wafer) 스테퍼 (stepper) 로서 사진 해설법 애플리케이션을 위한 비용 효율적이고 높은 처리량을 제공하는 솔루션입니다.