판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #9263044

NIKON NSR 2205 i12D는 반도체 장치 제작의 고급 프로세스를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 스캐닝 스테퍼 장비 (Scanning Stepper Equips) 는 최고 0.25 äm의 해상도와 고속 및 정확한 스캐닝 기능을 지원합니다. 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 몰입 렌즈 (Immersion Lenses) 와 같은 최신 리소그래피 도구와 함께 사용하도록 설계되었으며, 신뢰할 수 있는 고정밀 (High-Precision) 생산을 제공하기 위해 다양한 최첨단 기술로 구성되어 있습니다. NIKON NSR-2205I12D는 매우 정확한 12 빔 가변 모양의 빔 (VSB) 리소그래피 시스템으로 구동됩니다. 이 장치는 향상된 정밀도, 가변 초점 제어를 제공하여 까다로운 어플리케이션에 안정성과 안정성을 제공합니다. 12 빔 구성은 또한 뛰어난 포토 마스크 제작을 보장하여 오염을 줄이고 완성 된 장치와 일관되게 충실도를 보장합니다. 또한 이 스테퍼에는 최고 품질의 정렬 및 오버레이 정확도를 보장하는 최신 활성 정렬 감지 (Active Alignment Sensing) 및 수정 (Correction) 기술이 적용되어 장치 간 변형을 최소화합니다. NSR-2205I 12D 의 핵심은 강력한 컨트롤 머신 (Control Machine) 으로, 구성 능력이 뛰어나고 다양한 리소그래피, 이미징, 컴퓨팅 및 동기화 기능을 제공합니다. 이 제어 툴 (Control Tool) 은 디바이스 제작 과정에서 사용되는 많은 프로세스 (process) 를 자동화하여 지루한 수작업 검사 및 조정 (admedious manual inspection and adjusting) 을 필요로 하지 않으며, 운영 프로세스를 간소화하고 결국 비용을 절감할 수 있습니다. ALS (Advanced Leveling Stage) 는 스테퍼 자산의 빠르고 원활한 운영을 위해 NSR-2205I12D 용으로 특별히 설계되었습니다. 이 로우 프로파일, 듀얼 레일, 에어 베어링 스테이지는 매우 안정적이며 1äm 정확도로 조정할 수 있습니다. ALS 모델은 사용하기 쉽고, 복잡한 움직임과 동작을 위해 많은 자기 구동 단계 (magnetically driven stage) 를 상호 연결하도록 허용합니다. NSR 2205 I12 D에는 EI 렌즈 기술과 RIC (Reflective Imaging by Characterization) 이미징이 포함되어 있으므로 추가 정렬 및 오버레이 배선이 필요하지 않으며 기존 렌즈 시스템에 비해 정확성이 향상됩니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 마스크 작성, 프로세스 제어 등 다양한 고급 프로세스를 지원합니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205 I12 D는 혁신적인 성능과 안정적인 제작을 위해 설계된 고급 스캐닝 스테퍼 장비입니다. 최첨단 기술과 강력한 제어 시스템을 결합한 스테퍼 (stepper) 는 모든 최첨단 반도체 장치 제작을 위한 탁월한 선택입니다.