판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9213593

NIKON NSR 2205 i11D는 최첨단 반도체 리소그래피에 사용되는 다중 필드 처리 기능을 갖춘 최신 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 해상도는 0.17jm, 시장 주요 가치는 시간당 12,000 웨이퍼 (WPH) 처리량입니다. 최고의 주기 성능, 고품질 이미지, 뛰어난 유연성을 제공합니다. 장비의 기능에는 19nm의 단계 정확도, 자동 초점 크기 제어 기능, 오프 축 조명, 반사 방지 코팅, 편광 제어, 다중 필드 스티칭 및 자동 해상도 최적화를위한 강력한 유전자 알고리즘이 포함됩니다. 또한 다양한 온라인 시스템 조정을 지원하는 새로운 사용자 친화적 인 터치 스크린 모니터 (Touch Screen Monitor) 가 있습니다. 스테퍼는 왼쪽에서 오른쪽으로 (left-to-right) 모드와 오른쪽에서 왼쪽으로 (right-to-left) 모드의 광범위한 노출 옵션을 제공하여 단일 레이어, 이중 레이어 및 다중 레이어 노출에 사용할 수 있습니다. 또한 최대 200mm의 더 큰 기판 크기를 수용하며, 전체 기판에 비해 평탄도 정확도가 3m보다 좋습니다. 이 기계는 또한 온축 소스, 오프 축 소스 및 7 개의 라미네이션 소스를 포함하여 다양한 조명 및 차폐 소스를 지원합니다. 이 도구는 고정밀 부품으로 만들어졌으며 진공 플랫폼으로 제작되었으며 높은 실리카 나노 겔 절연 (silica nanogel insulation) 을 사용하여 안정화되었습니다. NIKON NSR-2205I11D는 신뢰할 수 있고 신뢰성이 뛰어나 긴 작업 수명을 제공합니다. 또한 더 넓은 온도 범위에서 작동 할 때 정확도와 WPH (WPH) 를 유지하므로 효율성이 높습니다. 또한, 유지 보수 설계가 낮아 이전 모델보다 45% 적은 전력을 소비하며 2 년마다 또는 5 만 회 노출 될 때마다 정기적으로 유지 보수가 필요합니다. 전반적으로 NSR 2205I11D 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 신뢰할 수 있고, 강력하며, 효율적인 시스템으로 업계에서 가장 높은 품질의 석판화 이미지를 만들 수 있습니다. 이 제품은 리소그래피 (lithography) 공정에서 최대 성능과 정확도를 요구하는 반도체 제조업체에 이상적인 도구입니다.