판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9379641

NIKON NSR 2205 EX12B는 반도체 제조업체가 사용하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 고유한 통합 인덱싱 장비, 양방향 정렬, 고급 초정밀 제어 기능을 갖추고 있습니다. EX12B 는 가장 까다로운 디바이스 구성 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 웨이퍼 교환 (Wafer Exchange), 저장 (Storage) 및 자동화된 공구 제어를 단순화하는 설계 된 캐리어를 기반으로 다양한 Wafer 전송 방법을 사용합니다. 이 통합 인덱싱 장치 (unified indexing unit) 를 사용하면 웨이퍼 (wafer) 를 정확한 위치에 배치하여 위치 범위에 대해 1 미크론 해상도에 정확하게 배치할 수 있습니다. 이렇게 하면 시스템의 광학이 단일 설정으로 여러 레이어를 안정적으로 처리할 수 있습니다. 양방향 정렬 도구를 통해 진정한 비확률적 (non-stochastic) 패턴 배치 및 복잡한 설계 변형에 유연하게 적응할 수 있습니다. NIKON NSR-2205EX12B의 optics 패키지는 처리 및 정렬 목적으로 4 개의 레이저 빔으로 구성됩니다. "레이저 '는 높은 배율 에서도 최대 4" 미크론' 의 정확도 를 제공 하여 정밀 한 "패턴 '배치 와 중첩 의 정확도 를 보장 한다. 자산은 또한 2 개의 마이크로 회절 렌즈를 특징으로하며, 이는 서브 미크론 수준의 해상도를 향상시킵니다. 이 모델은 여러 가지 숫자 레시피로 프로그래밍 될 수있는 독특한 초정밀 컨트롤러 (Ultra-Precision Controller) 에 의해 구동됩니다. "컨트롤러 '는 최고 의" 패턴' 배치 정확도 를 유지 하기 위하여 "레이저 '광선 의 경로 를 정확 하게 계산 한다. 이 고급 컨트롤러는 장치 (device) 의 일관성을 달성하기 위해 장비의 기능을 크게 향상시킵니다. 이 시스템은 Precision 컨트롤러 이외에도 여러 가지 기능 (다양한 기능) 으로, 추가 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 실시간 프로세스 모니터, 결함 감지 장치, 열 보상 장치 등이 있습니다. 레이저 기반 결함 감지 도구 (Defect Detection Tool) 는 장치 오염을 방지하는 데 중요한 수명 유지 관리 솔루션을 제공합니다. 마지막으로, 이 자산은 가장 까다로운 반도체 제작 환경을 위해 설계되었습니다. 그것 은 본질적 으로 먼지 내성 이 있으며, 높은 작동 온도 를 유지 할 수 있으며, 조밀 한 "오버레이 '와 해상도 를 위한 낮은 진동 을 보유 하고 있다. NSR-2205 EX12B 를 사용하면 가장 까다로운 디바이스에서 디바이스 크기가 크게 줄어들 수 있습니다.