판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9379639

NIKON NSR 2205 EX12B는 강력하고 정확한 반도체 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계에는 고성능 및 정밀한 다축 스테이지가 장착되어 있습니다. 소형 반도체 웨이퍼 크기에 도전하는 메가 픽셀 이미징 장치, 정확하고 정확한 리소그래피 패턴, 컴팩트하고 효율적으로 포장 된 장치 (compact and efficient packed device) 를 만드는 데 적합합니다. NIKON NSR-2205EX12B는 소형 광학 부품, 25mm ~ 300mm 다이 크기, 최소 피치 크기 0.26의 최신 리소그래피 머신 기술을 통합했습니다. 이 고급 다축 정밀 리소그래피 장비는 최소 선폭 0.29 m의 반도체 웨이퍼에 매우 정밀하고 패턴 화 된 이미지를 만듭니다. NSR-2205 EX12B 기능의 디자인에는 격리 된 단계가 장착 된 통합 웨이퍼 처리 로봇과 새로운 고정밀 (high-precision) 광 서브시스템이 포함됩니다. 모든 구성 요소는 소규모의 고해상도 리소그래피 (lithography) 어플리케이션에 적합합니다. 고해상도 이미지가 지속적으로 생성되도록 NSR-2205 EX 12 B는 고도의 4 점 적외선 레이저 빔 스캐너를 사용하여 긴 노출 시간을 제공합니다. NIKON NSR-2205 EX12B에는 비접촉 공기 베어링 단계 (non contact air bearing stage) 및 고급 광학 정렬 장치 (advanced optical alignment unit) 등 다양한 성능 향상 기능이 있습니다. 이러한 기능은 효율성을 극대화하는 안정성이 뛰어난 리소그래피 프로세스를 제공합니다. 왕복 형 슬라이드 동작 및 노출 정밀도 +/- 4 um (um) 을 사용하면 NIKON NSR 2205EX 12B가 웨이퍼 표면에서 최소 왜곡의 매우 정확하고 균일 한 패턴을 만들 수 있습니다. NIKON NSR 2205 EX 12B에는 운영 안전 및 수명을 보장하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 여러 안전 센서가 컴퓨터를 모니터링하고, 문제가 감지되면 오류 메시지를 생성합니다. 또한, 내장 연동은 기계의 보호를 보장하고 다운타임을 최소화합니다. 또한 수동 작업 시 고급 DIAS (Diagnostic and Intelligent Assistance Tool) 는 올바른 데이터를 제공합니다. 결론적으로, NSR-2205EX12B 는 경제적인 생산과 탁월한 제품 품질을 보장하기 위해 다양한 기능을 제공하는 안정적이고 매우 정밀한 웨이퍼 (wafer) 스테퍼입니다. 고급 4 점 레이저 빔 스캔은 매우 긴 노출 시간을 제공하며 비 접촉 공기 베어링 단계는 +/- 4 um의 높은 정확도를 제공합니다. 따라서, 반도체 웨이퍼 재료에 정확하고 정확한 리소그래피 패턴을 생산하기에 이상적인 기계입니다.