판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9252483

ID: 9252483
웨이퍼 크기: 8"
Steppers, 8" Reticle, 6" Wafer type: Notch Resolution: 0.28 um.
NIKON NSR 2205 EX12B는 반도체 장치 프로세싱의 품질을 향상시키기 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 12 인치 크기의 웨이퍼를 수용 할 수있는 다양한 광학 장치 및 나노 스케일 (nanoscale) 정렬 정확도로 설계되었습니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 교환 가능한, 풀 필드, 마스터 필드 리소그래피 툴 등 다양한 레티클을 지원할 수 있습니다. NIKON NSR-2205EX12B에는 광석판 마스크의 정밀한 정렬 및 등록을 위해 x 및 y 축에서 매우 정밀한 레티클 이동이 가능한 고급 레티클 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 실시간 오버레이 측정을위한 XYG 스캐너와 자동 용량 제어를 허용하는 NIKON 자체 독점 SmartDose TM 기능도 갖추고 있습니다. 이미징 기능 측면에서 NSR-2205 EX12B는 파장 248nm에서 최대 17nm 선 너비를 확인할 수 있습니다. 또한 i-line, g-line, krypton fluoride (KrF) 레이저 및 extreme ultra-violet (EUV) 광원을 포함한 다양한 조명 옵션이 장착되어 있습니다. 이 스테퍼는 또한 photoresist, negative-tone resist, dry film resist를 포함한 다양한 저항 재료를 사용할 수 있습니다. NIKON NSR 2205EX 12B는 오프 축 조명 구성으로 인해 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 스테퍼는 0.3mm에서 1.0mm까지의 다양한 웨이퍼 두께를 처리 할 수 있습니다. 또한 혁신적인 Heater Assist Technology로 최신 저항을 지원합니다. 데이터 관리 측면에서 NSR 2205 EX12B 는 NIKON 독점 CMOS400 기술을 지원하므로 데이터 수집 및 이미지 전송을 동시에 수행할 수 있습니다. 따라서 모든 중요 데이터를 자동으로 NIKON NSX 소프트웨어에 업로드하여 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 전체적으로 NIKON NSR 2205 EX 12B는 뛰어난 석판화 성능 및 처리량을 제공하는 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 광학과 나노 스케일 (Nanoscale) 정확도는 반도체 장치 제조업체가 매우 높은 수준의 정확도와 정밀도를 가진 장치를 생산하도록 도와줍니다. 포괄적인 데이터 관리 (data management) 기능을 통해 디바이스와 관련된 모든 관련 정보를 효율적으로 저장, 추적할 수 있습니다.
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