판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9238672
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NIKON NSR 2205 EX12B는 집적 회로의 석판 제작을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 2 세대 광학 석판화 장비로서, 최대 12.5cm 0.45 미크론의 출력 해상도를 특징으로합니다. 높은 정확도와 처리량을 위해 두 가지 기술 (고급 ArF 엑시머 레이저 광원과 고정밀 NIKON 투영 광학) 의 조합을 사용합니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 매우 정확한 등록이있는 고급 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 갖추고 있으며, 패턴을 웨이퍼로 정확하게 및 최소한의 왜곡으로 옮길 수 있습니다. NIKON NSR-2205EX12B에는 최첨단 반도체 생산에 적합한 많은 기능이 있습니다. 스테퍼 제어 장치, 규칙 기반 결함 검사 시스템 및 고효율 자동 초점 장치 (auto-focus unit) 가 장착되어 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 자동 웨이퍼 정렬, 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 프로세스, 레티클 조정 등 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 고급 반도체 프로세스는 +/-3% 의 정확도로 최대 0.45 um 해상도를 생성 할 수 있습니다. 또한, NSR-2205 EX12B 에는 레티클 스테이지 (reticle stage) 가 장착되어 있으며, 이를 통해 리소그래픽 프로세스를 위해 다양한 종류의 레티클을 설정할 수 있습니다. 석판 공정의 노출 및 강도를 자동으로 제어하기위한 자동 노출 기계 (auto-exposure machine) 가 특징입니다. 또한, 이 웨이퍼 스테퍼는 왜곡 또는 오정렬없이 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. 스테이지와 레티클 스테이지는 매우 안정적이고 내구성이 뛰어납니다. NSR 2205 EX 12B 는 고급 리소그래피 툴 (lithography tool) 외에도 다양한 기능을 갖추고 있어 이상적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 가 됩니다. 고급 소프트웨어를 사용하면 정교한 프로세스와 패턴 제어가 가능합니다. 또한 도구의 성능 및 웨이퍼 정렬 정확도를 높일 수 있는 AutoCalibrate 소프트웨어를 제공합니다. 또한 NIKON NSR 2205EX 12B에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있어 도구 내에서 개체를 손쉽게 이동, 복사, 다시 검색할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR-2205 EX 12 B는 집적 회로의 석판 제작을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급형 반도체 생산에 적합한 다양한 기능과 더불어 뛰어난 해상도 (Exceptional Resolution) 와 정확도 (Accuracy) 를 제공합니다. 또한 사용자 친화적 인터페이스, 고급 소프트웨어 및 자동 웨이퍼 정렬이 특징입니다. 이 기능들은 오늘날 시장에서 가장 발전된 웨이퍼 스텝퍼 중 하나입니다.
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