판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9207018
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ID: 9207018
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Stepper, 8"
Temperature range: 23°C
Chamber type: N2M-A
NA Variable system
Reticle size: 6" (Normal)
Reticle microscope: Fix
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle barcode reader
No reticle SMIF
No R-library
Reticle case: 6"
Wafer type: Notch
Pre alignment 2
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line (Right)
Wafer carrier table: Left, Right
Alignment sensor: LSA, FIA
Rack type: Normal (Left)
Body OP ruck cable: 3 m (Normal)
No wafer edge exposure
Laser type: CYMER ELS-5400 Laser
Laser position: Same flor
No signal tower
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 EX12B는 정확한 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 풀 필드, 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 탁월한 이미징 성능을 제공하고, 회로 설계를 웨이퍼로 전송하는 데 필요한 사진 (photolithography) 프로세스 단계 수를 줄이기 위해 설계되었습니다. NIKON NSR-2205EX12B는 63X high-NA 렌즈를 사용하며, 이미지 필드 회전 기능을 통해 다양한 유형의 패턴을 사용할 수 있습니다. 스텝 앤 스캔 (step-and-scan) 모드로 작동하여 레이아웃 설계에서 유연성이 향상되고 해상도가 큰 더 큰 표면 영역을 커버할 수 있습니다. NSR-2205 EX12B 는 긴 수명의 셔터와 고급 레이저 다이오드 (Advanced Laser Diode) 장비를 갖추고 있어 높은 반복성과 신뢰성을 제공합니다. 패턴 전송의 정확성도 향상되어 고품질 장치를 생산할 수 있습니다 (영문). NSR 2205EX 12B 는 처리량이 높으며 최고 400WSPM 의 속도를 얻을 수 있습니다. "실리콘 ', 석영, 유리, 금속 및 중합체, 그리고 여러 가지 회로 설계 를 포함 하여 매우 다양 한 기판 들 을 수용 할 수 있는, 매우 융통성 이 있다. 스테퍼는 모든 NIKON 시스템과 호환되도록 설계되었습니다. NIKON NSR-2205 EX 12 B에는 자동 초점 및 자동 정렬 기능, 다이 첨부 기능, 내장 석판화 및 저항 검사 시스템, 디지털 확대/축소 기능, 위치 초점, 다중 축 히터 장치. NIKON NSR-2205 EX12B의 i-Line 조명기는 광원 유발 결함을 줄이는 데 도움이되는 와이드 필드 조명을 제공합니다. "스테퍼 '에는 또한" 쿼츠' 창문 이 있는 전용 관 과 오염 을 방지 하는 가치 전달 단계 가 있다. 정확한 작동을 위해 NSR 2205 EX12B는 고정밀 투사 광 도구를 사용하여 설계되었습니다. 선형성이 0.1 미크론 인 고속 X-Y 스테이지와 0.5 미크론의 놀라운 반복 성을 사용합니다. NSR-2205 EX 12 B는 안정적이고 강력한 웨이퍼 스테퍼로, 효율성, 정확성, 유연성 및 성능의 조합을 제공합니다. 고급 사진 촬영 (photolithography) 응용 프로그램에 적합하며, 매우 정확한 컴포넌트와 제품을 생성하는 데 사용될 수 있습니다.
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