판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #293589625

NIKON NSR 2205 EX12B는 고정밀 웨이퍼 처리에 사용하도록 특별히 설계된 고급 스테퍼 모델입니다. 기존 스텝퍼 (예: 처리량 향상, 정확도 향상, 유지 보수 요구 사항 감소) 에 비해 여러 가지 이점을 제공합니다. NIKON NSR-2205EX12B는 강력한 2 단계 전동 Z축 드라이브 장비를 갖추고 있으며, 원활한 작동을 제공하며 정확한 단계 이동이 가능합니다. 첫 번째 레벨 드라이브 시스템은 수동으로 조절 가능한 분으로 지원됩니다. 두 번째 레벨 드라이브 장치에는 고속 속도에서도 저소음 (low-noise) 및 저진동 (low-vibration) 작업을 제공하는 내장 해상기가 포함되어 있습니다. 이를 통해 표류없이 웨이퍼의 넓은 영역을 정확하고 반복적으로 스캔 할 수 있습니다. 스테퍼에는 통합 CCD 카메라가있는 FESEM (Field Emission Scanning Electron Microscope) 도 있습니다. 이를 통해 샘플 서피스의 해상도 이미징이 높아져 미묘한 이상을 보다 정확하게 감지 할 수 있습니다. FESEM은 또한 웨이퍼 표면에서 구조물의 현장 조작에 사용될 수 있습니다. 이는 잔류 물 제거, 노출 매개변수 조정, 노출 중 처리 조건 제어에 유용합니다. 또한, 스테퍼에는 고정밀 웨이퍼 정렬을위한 노출 등록 메커니즘이 포함되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 패턴을 매우 정확하게 등록 할 수 있으며, 현지 fiducial misalignation을 신속하게 보상 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 적절한 정렬을 위해 초점을 빠르게 조정하는 통합 자동 교정 루틴 (auto-calibration routine) 을 갖추고 있습니다. 또한 스테퍼에는 자동 단계 정렬 (automated stage alignment) 기능이 포함되어 있는데, 이는 노출 중 잘못된 정렬을 수정합니다. NSR-2205 EX12B 는 웨이퍼 처리에 필요한 처리량, 정확성 및 유지 관리 요구 사항을 개선하기 위해 설계된 고급 스테퍼입니다. 강력한 듀얼 레벨 드라이브 도구를 사용하여 드리프트 없이 부드러운 동작을 수행하며, 고해상도 이미징 (FESEM) 및 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 조작을 위한 FESEM을 사용합니다. 또한, 스테퍼에는 정확성과 반복성을 보장하기 위해 자동 보정 (auto-calibration) 및 자동 단계 정렬 기능이 포함됩니다. 이 모든 기능을 통해 NSR 2205EX 12B는 매우 정확하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.